波纹结构二氧化钒薄膜及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410230674.0

申请日：

2014-05-28

公开(公告)号：

CN103981501B

公开(公告)日：

2014-08-13

发明(设计)人：

王锐张昱屾吴晓宏李杨仇兆忠

申请人：

申请人地址：

150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1408 C23C1458

代理机构：

哈尔滨市文洋专利代理事务所(普通合伙) 23210

代理人：

王艳萍

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-04-20	授权	授权
2014-08-13	公开	公开
2019-05-14	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20140528 授权公告日:20160420 终止日期:20180528
2014-09-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101586830792 IPC(主分类):C23C 14/35 专利申请号:2014102306740 申请日:20140528

共 50 条

[1]

二氧化钒薄膜及其制备方法 [P].

黄富强 ;

丁尚军 ;

李德增 ;

赵伟 .

中国专利 :CN102383114A ,2012-03-21

[2]

二氧化钒薄膜及其制备方法 [P].

武传宝 ;

王允威 .

中国专利 :CN118545917A ,2024-08-27

[3]

二氧化钒柔性薄膜及其制备方法 [P].

李星星 ;

尹志岗 ;

张兴旺 ;

吴金良 .

中国专利 :CN109735816A ,2019-05-10

[4]

A相二氧化钒薄膜及其制备方法 [P].

张小平 ;

蒲年文 ;

李中江 .

中国专利 :CN108515009A ,2018-09-11

[5]

基于射频磁控溅射制备二氧化钒薄膜的方法及制备的二氧化钒薄膜 [P].

张祯 ;

刘任静 ;

乔煦容 ;

孙嘉辉 .

中国专利 :CN119287314A ,2025-01-10

[6]

相变型二氧化钒薄膜及其制备方法 [P].

周少波 .

中国专利 :CN104975262A ,2015-10-14

[7]

一种二氧化钒薄膜及其制备方法 [P].

张培新 ;

任祥忠 ;

李鼎铖 .

中国专利 :CN104846445B ,2015-08-19

[8]

一种二氧化钒薄膜及其制备方法 [P].

张陈斌 ;

史鹏 ;

蔡浩杰 ;

万燕清 .

中国专利 :CN117127153B ,2024-08-06

[9]

二氧化钒薄膜生长方法 [P].

林媛 ;

梁伟正 ;

高敏 ;

路畅 .

中国专利 :CN106012014A ,2016-10-12

[10]

超薄二氧化钒薄膜的简易制备方法 [P].

徐晓峰 ;

桑景新 ;

蒙奕帆 ;

王游 ;

华志威 ;

郑探 .

中国专利 :CN110284104A ,2019-09-27

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