超薄二氧化钒薄膜的简易制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910537089.8

申请日：

2019-06-20

公开(公告)号：

CN110284104A

公开(公告)日：

2019-09-27

发明(设计)人：

徐晓峰桑景新蒙奕帆王游华志威郑探

申请人：

申请人地址：

201600 上海市松江区人民北路2999号

IPC主分类号：

C23C1418

IPC分类号：

C23C1435 C23C1458

代理机构：

上海申汇专利代理有限公司 31001

代理人：

翁若莹;王文颖

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-10-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/18 申请日:20190620
2019-09-27	公开	公开
2022-07-22	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/18 申请公布日:20190927

共 50 条

[1]

极窄回滞曲线宽度高电阻温度系数二氧化钒薄膜制备方法 [P].

徐晓峰 ;

何鑫峰 ;

汪海旸 ;

陈效双 ;

褚君浩 .

中国专利 :CN102703873A ,2012-10-03

[2]

二氧化钒薄膜及其制备方法 [P].

黄富强 ;

丁尚军 ;

李德增 ;

赵伟 .

中国专利 :CN102383114A ,2012-03-21

[3]

二氧化钒薄膜及其制备方法 [P].

武传宝 ;

王允威 .

中国专利 :CN118545917A ,2024-08-27

[4]

一种制备二氧化钒薄膜快速热处理的方法 [P].

胡明 ;

后顺保 ;

吕志军 ;

陈涛 ;

梁继然 .

中国专利 :CN102212782A ,2011-10-12

[5]

基于射频磁控溅射制备二氧化钒薄膜的方法及制备的二氧化钒薄膜 [P].

张祯 ;

刘任静 ;

乔煦容 ;

孙嘉辉 .

中国专利 :CN119287314A ,2025-01-10

[6]

一种二氧化钒薄膜的制备方法 [P].

许子寒 ;

曹辰辰 ;

李甜田 .

中国专利 :CN116875947B ,2025-04-18

[7]

一种二氧化钒薄膜制备方法 [P].

王少伟 ;

刘星星 ;

陆卫 ;

俞立明 ;

陈飞良 ;

陈效双 .

中国专利 :CN104032278A ,2014-09-10

[8]

磁控溅射制备A相二氧化钒薄膜的方法 [P].

曹逊 ;

金平实 ;

孙光耀 ;

李荣 .

中国专利 :CN107779831A ,2018-03-09

[9]

二氧化钒柔性薄膜及其制备方法 [P].

李星星 ;

尹志岗 ;

张兴旺 ;

吴金良 .

中国专利 :CN109735816A ,2019-05-10

[10]

A相二氧化钒薄膜及其制备方法 [P].

张小平 ;

蒲年文 ;

李中江 .

中国专利 :CN108515009A ,2018-09-11

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