用于计算衬底支撑件的温度的系统和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780077119.0

申请日：

2017-12-14

公开(公告)号：

CN110073480A

公开(公告)日：

2019-07-30

发明(设计)人：

大卫·约瑟夫·韦策尔亚历山大·布莱凯雅各布·弗雷德里克·泰森

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

上海胜康律师事务所 31263

代理人：

李献忠;张静

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-07-30	公开	公开
2020-01-14	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20171214

共 50 条

[1]

用于衬底处理系统的温度调整的衬底支撑件 [P].

诺曼·梅特克 ;

希曼舒·乔克斯 .

中国专利 :CN110731007A ,2020-01-24

[2]

用于衬底处理系统的温度调整的衬底支撑件 [P].

诺曼·梅特克 ;

希曼舒·乔克斯 .

美国专利 :CN118486607A ,2024-08-13

[3]

用于衬底处理系统的温度调整的衬底支撑件 [P].

诺曼·梅特克 ;

希曼舒·乔克斯 .

美国专利 :CN110731007B ,2024-04-12

[4]

用于半导体衬底支撑件的温度控制的装置和方法 [P].

安东尼·里奇 ;

绍拉·乌拉尔 ;

迈克·康 ;

马修·布舍 .

中国专利 :CN102918641A ,2013-02-06

[5]

衬底处理系统中的衬底支撑件的动态温度控制 [P].

赛拉姆·森德拉姆 ;

亚伦·德宾 ;

拉梅什·钱德拉塞卡拉 .

美国专利 :CN118360588A ,2024-07-19

[6]

衬底处理系统中的衬底支撑件的动态温度控制 [P].

赛拉姆·森德拉姆 ;

亚伦·德宾 ;

拉梅什·钱德拉塞卡拉 .

美国专利 :CN112368415B ,2024-03-22

[7]

衬底处理系统中的衬底支撑件的动态温度控制 [P].

赛拉姆·森德拉姆 ;

亚伦·德宾 ;

拉梅什·钱德拉塞卡拉 .

中国专利 :CN112368415A ,2021-02-12

[8]

用于基于RF功率的衬底支撑件前馈温度控制的系统与方法 [P].

张涛 ;

田思源 ;

埃里克·A·佩普 ;

乔治·约瑟·扎尼诺维赫 .

中国专利 :CN107564789A ,2018-01-09

[9]

用于修复衬底支撑件的系统、装置和方法 [P].

B·D·斯霍尔滕 ;

S·阿成达 ;

A·阿克丘林 ;

P·安东诺夫 ;

C·H·M·伯尔蒂斯 ;

J·布坎贝格蒂 ;

A-S·M·法利 ;

C·J·马森 ;

R·N·巴勒莫 ;

Y·J·G·范德费韦 ;

J·M·W·范登温凯尔 ;

T·波耶兹 .

中国专利 :CN111699439A ,2020-09-22

[10]

快速衬底支撑件温度控制 [P].

理查德·弗威尔 ;

保罗·比瑞哈特 ;

桑·音·伊 ;

安尼苏尔·H·卡恩 ;

吉维克·帝尼威 ;

谢恩·奈威尔 .

中国专利 :CN102903654A ,2013-01-30

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