用于衬底处理系统的温度调整的衬底支撑件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880031182.5

申请日：

2018-05-10

公开(公告)号：

CN110731007B

公开(公告)日：

2024-04-12

发明(设计)人：

诺曼·梅特克希曼舒·乔克斯

申请人：

朗姆研究公司

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/683

代理机构：

上海胜康律师事务所 31263

代理人：

李献忠;张静

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-12	授权	授权

共 50 条

[1]

用于衬底处理系统的温度调整的衬底支撑件 [P].

诺曼·梅特克 ;

希曼舒·乔克斯 .

中国专利 :CN110731007A ,2020-01-24

[2]

用于衬底处理系统的温度调整的衬底支撑件 [P].

诺曼·梅特克 ;

希曼舒·乔克斯 .

美国专利 :CN118486607A ,2024-08-13

[3]

衬底处理系统中的衬底支撑件的动态温度控制 [P].

赛拉姆·森德拉姆 ;

亚伦·德宾 ;

拉梅什·钱德拉塞卡拉 .

中国专利 :CN112368415A ,2021-02-12

[4]

衬底处理系统中的衬底支撑件的动态温度控制 [P].

赛拉姆·森德拉姆 ;

亚伦·德宾 ;

拉梅什·钱德拉塞卡拉 .

美国专利 :CN118360588A ,2024-07-19

[5]

衬底处理系统中的衬底支撑件的动态温度控制 [P].

赛拉姆·森德拉姆 ;

亚伦·德宾 ;

拉梅什·钱德拉塞卡拉 .

美国专利 :CN112368415B ,2024-03-22

[6]

衬底处理系统 [P].

经常友 ;

本尼·吴 ;

亚历山大·米赫宁科 ;

斯洛博丹·米特罗维奇 .

美国专利 :CN114175208B ,2024-05-24

[7]

衬底处理系统和用于操作衬底处理系统的方法 [P].

罗伟易 ;

洪延姬 ;

钟伟武 ;

希曼舒·乔克斯 .

美国专利 :CN112868084B ,2024-04-26

[8]

用于衬底处理系统的处理调整系统 [P].

贝赫扎德·拉杰瓦尔迪 ;

汤姆·特林赫 ;

威利·库 ;

哈伊·迪普 ;

爱丽斯·简哈尔 ;

黄忠河 ;

特拉维斯·约瑟夫·王 ;

约翰·小瓦尔克 .

美国专利 :CN121175633A ,2025-12-19

[9]

用于衬底处理系统的衬底支撑件的加热器元件的电源隔离电路 [P].

文森特·布克哈特 ;

卡尔·弗雷德里克·利瑟 .

中国专利 :CN114556542A ,2022-05-27

[10]

用于衬底处理系统的衬底支撑件的加热器元件的电源隔离电路 [P].

文森特·布克哈特 ;

卡尔·弗雷德里克·利瑟 .

美国专利 :CN114556542B ,2025-09-02

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