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衬底处理系统中的衬底支撑件的动态温度控制
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201980045350.0
申请日：
2019-07-02
公开(公告)号：
CN112368415B
公开(公告)日：
2024-03-22
发明(设计)人：
赛拉姆·森德拉姆
亚伦·德宾
拉梅什·钱德拉塞卡拉
申请人：
朗姆研究公司
申请人地址：
美国加利福尼亚州
IPC主分类号：
C23C16/458
IPC分类号：
C23C16/46
C23C16/455
H05B1/02
代理机构：
上海胜康律师事务所 31263
代理人：
李献忠;张静
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-03-22 | 授权 | 授权 |