聚合物和包含聚合物的光致抗蚀剂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200410104834.3

申请日：

2004-12-29

公开(公告)号：

CN1645252A

公开(公告)日：

2005-07-27

发明(设计)人：

郑东垣 G·G·巴克利

申请人：

申请人地址：

美国马萨诸塞

IPC主分类号：

G03F7004

IPC分类号：

G03F720 H01L21027

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

任宗华

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-05-20	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回
2005-07-27	公开	公开
2005-12-21	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

聚合物组合物、包含该聚合物组合物的光致抗蚀剂以及包含该光致抗蚀剂的涂覆制品 [P].

M·D·克里斯蒂安森 ;

M·M·梅耶 ;

O·昂格伊 .

中国专利 :CN103524680A ,2014-01-22

[2]

单体,聚合物和光致抗蚀剂组合物 [P].

孙纪斌 ;

Y·C·裴 ;

朴钟根 ;

李承泫 ;

C·安德斯 .

中国专利 :CN103121951A ,2013-05-29

[3]

单体、聚合物和光致抗蚀剂组合物 [P].

柳義炫 ;

金明烈 ;

W-H·李 ;

H·郑 ;

K-H·任 .

中国专利 :CN108264605A ,2018-07-10

[4]

单体、聚合物和光致抗蚀剂组合物 [P].

柳义炫 ;

张珉敬 ;

金昭佑 ;

K-M·崔 ;

H·全 ;

W-H·李 ;

金明烈 .

中国专利 :CN107793527B ,2018-03-13

[5]

新聚合物和光致抗蚀剂组合物 [P].

E·阿恰达 ;

刘骢 ;

C-B·徐 .

中国专利 :CN106125506A ,2016-11-16

[6]

新聚合物和光致抗蚀剂组合物 [P].

E·阿恰达 ;

刘骢 ;

C-B·徐 .

中国专利 :CN102279520A ,2011-12-14

[7]

聚合物及光致抗蚀剂组合物 [P].

J·K·朴 ;

E·阿卡德 ;

宋旸 ;

C·吴 ;

刘聪 ;

李明琦 .

中国专利 :CN113121734A ,2021-07-16

[8]

聚合物及光致抗蚀剂组合物 [P].

宋旸 ;

朴钟根 ;

E·阿卡德 ;

李明琦 ;

刘聪 ;

J·W·萨克莱 ;

P·特雷福纳斯三世 .

中国专利 :CN112661877A ,2021-04-16

[9]

聚合物及光致抗蚀剂组合物 [P].

J·K·朴 ;

E·阿卡德 ;

宋旸 ;

C·吴 ;

刘聪 ;

李明琦 .

美国专利 :CN113121734B ,2024-07-30

[10]

聚合物及包含该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

安藤信雄 ;

桥本和彦 .

中国专利 :CN101735390A ,2010-06-16

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