聚合物及包含该聚合物的抗蚀剂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910212074.0

申请日：

2009-11-03

公开(公告)号：

CN101735390A

公开(公告)日：

2010-06-16

发明(设计)人：

安藤信雄桥本和彦

申请人：

申请人地址：

日本国东京都中央区新川2丁目27番1号

IPC主分类号：

C08F22214

IPC分类号：

C08F21214 C08F21208 C08F22028 G03F7004

代理机构：

上海市华诚律师事务所 31210

代理人：

徐申民;涂勇

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-07-18	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101427333638 IPC(主分类):C08F 222/14 专利申请号:2009102120740 公开日:20100616
2010-06-16	公开	公开

共 50 条

[1]

聚合物及包含该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

安藤信雄 ;

桥本和彦 .

中国专利 :CN101712733A ,2010-05-26

[2]

抗蚀剂用聚合物以及包含该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

朱炫相 ;

金真湖 ;

韩俊熙 ;

柳印泳 .

中国专利 :CN104119477B ,2014-10-29

[3]

聚合物、其制备方法及包含该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

吴贞薰 ;

韩俊熙 ;

金兑坤 ;

朱炫相 .

中国专利 :CN102558523A ,2012-07-11

[4]

聚合物及其含有该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

朱炫相 ;

裵昌完 ;

安浩益 ;

吴贤锡 .

中国专利 :CN104119476B ,2014-10-29

[5]

化学放大抗蚀剂聚合物及使用该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

金德倍 ;

金炫辰 ;

崔容准 ;

郑允植 .

中国专利 :CN1162753C ,2002-11-06

[6]

抗蚀剂用聚合物以及含有该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

朱炫相 ;

金三珉 ;

裴昌完 ;

任铉淳 .

中国专利 :CN104007614A ,2014-08-27

[7]

聚合物和包含聚合物的光致抗蚀剂组合物 [P].

郑东垣 ;

G·G·巴克利 .

中国专利 :CN1645252A ,2005-07-27

[8]

聚合物和含有该聚合物的化学放大型抗蚀剂组合物 [P].

藤裕介 ;

畑光宏 .

中国专利 :CN101565486A ,2009-10-28

[9]

新型丙烯酸类单体、聚合物和包含该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

裵昌完 ;

朱炫相 ;

安浩益 ;

申珍奉 .

中国专利 :CN103896773A ,2014-07-02

[10]

抗蚀剂用聚合物及抗蚀剂组合物 [P].

百濑阳 ;

大竹敦 ;

上田昭史 ;

藤原匡之 ;

竹下优 ;

林亮太郎 ;

岩井武 .

中国专利 :CN100406481C ,2006-03-08

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