聚合物及其含有该聚合物的抗蚀剂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410141210.2

申请日：

2014-04-09

公开(公告)号：

CN104119476B

公开(公告)日：

2014-10-29

发明(设计)人：

朱炫相裵昌完安浩益吴贤锡

申请人：

申请人地址：

韩国首尔

IPC主分类号：

C08F23208

IPC分类号：

C08F22028 C08F22018 C08F22220 C08F21214 G03F7004 G03F700

代理机构：

北京鸿元知识产权代理有限公司 11327

代理人：

姜虎;陈英俊

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-10-29	公开	公开
2016-06-01	授权	授权
2014-12-03	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101589570620 IPC(主分类):C08F 232/08 专利申请号:2014101412102 申请日:20140409
2020-08-21	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C08F 232/08 登记生效日:20200803 变更事项:专利权人变更前权利人:锦湖石油化学株式会社变更后权利人:爱思开新材料高性能有限公司变更事项:地址变更前权利人:韩国首尔变更后权利人:韩国世宗市

共 50 条

[1]

抗蚀剂用聚合物以及含有该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

朱炫相 ;

金三珉 ;

裴昌完 ;

任铉淳 .

中国专利 :CN104007614A ,2014-08-27

[2]

抗蚀剂用聚合物以及包含该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

朱炫相 ;

金真湖 ;

韩俊熙 ;

柳印泳 .

中国专利 :CN104119477B ,2014-10-29

[3]

聚合物及包含该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

安藤信雄 ;

桥本和彦 .

中国专利 :CN101735390A ,2010-06-16

[4]

聚合物及包含该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

安藤信雄 ;

桥本和彦 .

中国专利 :CN101712733A ,2010-05-26

[5]

聚合物和含有该聚合物的化学放大型抗蚀剂组合物 [P].

藤裕介 ;

畑光宏 .

中国专利 :CN101585896A ,2009-11-25

[6]

聚合物和含有该聚合物的化学放大型抗蚀剂组合物 [P].

藤裕介 ;

畑光宏 .

中国专利 :CN101565486A ,2009-10-28

[7]

化学放大抗蚀剂聚合物及使用该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

金德倍 ;

金炫辰 ;

崔容准 ;

郑允植 .

中国专利 :CN1162753C ,2002-11-06

[8]

聚合物、其制备方法及包含该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

吴贞薰 ;

韩俊熙 ;

金兑坤 ;

朱炫相 .

中国专利 :CN102558523A ,2012-07-11

[9]

超支化聚合物及其制造方法、以及含有该超支化聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

金子行裕 ;

铃木薰 ;

田村实 ;

久保善靖 .

中国专利 :CN1898281A ,2007-01-17

[10]

聚合物和包含聚合物的光致抗蚀剂组合物 [P].

郑东垣 ;

G·G·巴克利 .

中国专利 :CN1645252A ,2005-07-27

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