化学放大抗蚀剂聚合物及使用该聚合物的抗蚀剂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN00813991.1

申请日：

2000-08-25

公开(公告)号：

CN1162753C

公开(公告)日：

2002-11-06

发明(设计)人：

金德倍金炫辰崔容准郑允植

申请人：

申请人地址：

韩国仁川市

IPC主分类号：

G03F7039

IPC分类号：

C08F1208

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

黄益芬;巫肖南

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2002-10-16	实质审查的生效	实质审查的生效
2002-11-06	公开	公开
2004-08-18	授权	授权
2003-01-22	实质审查的生效	实质审查的生效
2015-10-28	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101631635442 IPC(主分类):G03F 7/039 专利号:ZL008139911 申请日:20000825 授权公告日:20040818 终止日期:20140825

共 50 条

[1]

聚合物和含有该聚合物的化学放大型抗蚀剂组合物 [P].

藤裕介 ;

畑光宏 .

中国专利 :CN101585896A ,2009-11-25

[2]

聚合物和含有该聚合物的化学放大型抗蚀剂组合物 [P].

藤裕介 ;

畑光宏 .

中国专利 :CN101565486A ,2009-10-28

[3]

抗蚀剂用聚合物以及含有该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

朱炫相 ;

金三珉 ;

裴昌完 ;

任铉淳 .

中国专利 :CN104007614A ,2014-08-27

[4]

抗蚀剂用聚合物以及包含该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

朱炫相 ;

金真湖 ;

韩俊熙 ;

柳印泳 .

中国专利 :CN104119477B ,2014-10-29

[5]

抗蚀剂用聚合物及抗蚀剂组合物 [P].

百濑阳 ;

大竹敦 ;

上田昭史 ;

藤原匡之 ;

竹下优 ;

林亮太郎 ;

岩井武 .

中国专利 :CN100406481C ,2006-03-08

[6]

聚合物及包含该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

安藤信雄 ;

桥本和彦 .

中国专利 :CN101735390A ,2010-06-16

[7]

聚合物及包含该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

安藤信雄 ;

桥本和彦 .

中国专利 :CN101712733A ,2010-05-26

[8]

聚合物及其含有该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

朱炫相 ;

裵昌完 ;

安浩益 ;

吴贤锡 .

中国专利 :CN104119476B ,2014-10-29

[9]

用于抗蚀剂的聚合物和使用其制造的抗蚀剂组合物 [P].

朱炫相 ;

金真湖 ;

洪容和 ;

李昌洙 .

中国专利 :CN101712737A ,2010-05-26

[10]

聚合物和包含聚合物的光致抗蚀剂组合物 [P].

郑东垣 ;

G·G·巴克利 .

中国专利 :CN1645252A ,2005-07-27

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