聚合物和含有该聚合物的化学放大型抗蚀剂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910139072.3

申请日：

2009-05-15

公开(公告)号：

CN101585896A

公开(公告)日：

2009-11-25

发明(设计)人：

藤裕介畑光宏

申请人：

申请人地址：

日本国东京都

IPC主分类号：

C08F22010

IPC分类号：

G03F7039

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

陈长会

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-11-25	公开	公开
2013-11-06	专利权的视为放弃	专利权的视为放弃号牌文件类型代码:1606 号牌文件序号:101535730371 IPC(主分类):C08F 220/10 专利申请号:2009101390723 放弃生效日:20091125
2011-06-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101075088235 IPC(主分类):C08F 220/10 专利申请号:2009101390723 申请日:20090515

共 50 条

[1]

聚合物和含有该聚合物的化学放大型抗蚀剂组合物 [P].

藤裕介 ;

畑光宏 .

中国专利 :CN101565486A ,2009-10-28

[2]

化学放大抗蚀剂聚合物及使用该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

金德倍 ;

金炫辰 ;

崔容准 ;

郑允植 .

中国专利 :CN1162753C ,2002-11-06

[3]

聚合物及其含有该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

朱炫相 ;

裵昌完 ;

安浩益 ;

吴贤锡 .

中国专利 :CN104119476B ,2014-10-29

[4]

化合物、含有该化合物的聚合物及包含该聚合物的化学放大型抗蚀剂组合物 [P].

朱炫相 ;

韩俊熙 ;

李承宰 ;

金惠渊 .

中国专利 :CN102311371A ,2012-01-11

[5]

抗蚀剂用聚合物以及含有该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

朱炫相 ;

金三珉 ;

裴昌完 ;

任铉淳 .

中国专利 :CN104007614A ,2014-08-27

[6]

聚合物及包含该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

安藤信雄 ;

桥本和彦 .

中国专利 :CN101735390A ,2010-06-16

[7]

聚合物及包含该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

安藤信雄 ;

桥本和彦 .

中国专利 :CN101712733A ,2010-05-26

[8]

抗蚀剂用聚合物以及包含该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

朱炫相 ;

金真湖 ;

韩俊熙 ;

柳印泳 .

中国专利 :CN104119477B ,2014-10-29

[9]

聚合物和包含聚合物的光致抗蚀剂组合物 [P].

郑东垣 ;

G·G·巴克利 .

中国专利 :CN1645252A ,2005-07-27

[10]

光敏聚合物和含有该聚合物化学放大型的光阻剂组合物 [P].

金贤友 ;

禹相均 ;

郑明浩 .

中国专利 :CN1456580A ,2003-11-19

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