化合物、含有该化合物的聚合物及包含该聚合物的化学放大型抗蚀剂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110165111.4

申请日：

2011-06-10

公开(公告)号：

CN102311371A

公开(公告)日：

2012-01-11

发明(设计)人：

朱炫相韩俊熙李承宰金惠渊

申请人：

申请人地址：

韩国首尔

IPC主分类号：

C07C30968

IPC分类号：

C07C38112 C07C30332 C08F22038 C08F22032 C08F22018 C08F23208 C08F22028 G03F7004 G03F700

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

于辉

法律状态：

公开

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

聚合物和含有该聚合物的化学放大型抗蚀剂组合物 [P].

藤裕介 ;

畑光宏 .

中国专利 :CN101585896A ,2009-11-25

[2]

聚合物和含有该聚合物的化学放大型抗蚀剂组合物 [P].

藤裕介 ;

畑光宏 .

中国专利 :CN101565486A ,2009-10-28

[3]

化学放大抗蚀剂聚合物及使用该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

金德倍 ;

金炫辰 ;

崔容准 ;

郑允植 .

中国专利 :CN1162753C ,2002-11-06

[4]

聚合物及包含该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

安藤信雄 ;

桥本和彦 .

中国专利 :CN101735390A ,2010-06-16

[5]

聚合物及包含该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

安藤信雄 ;

桥本和彦 .

中国专利 :CN101712733A ,2010-05-26

[6]

聚合物及其含有该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

朱炫相 ;

裵昌完 ;

安浩益 ;

吴贤锡 .

中国专利 :CN104119476B ,2014-10-29

[7]

鎓盐化合物、聚合物化合物、化学放大型抗蚀剂组合物、以及形成图案的方法 [P].

朱炫相 ;

朴柱铉 ;

吴贞薰 ;

申大铉 .

中国专利 :CN101684086A ,2010-03-31

[8]

卤代化合物、包含该卤代化合物的聚合物和包含该聚合物的聚合物电解质膜 [P].

张容溱 ;

韩仲镇 ;

郑世喜 ;

金英弟 ;

康爱德 ;

柳昡旭 .

中国专利 :CN107001254B ,2017-08-01

[9]

具有酚取代基的化合物、制备该化合物的方法、以及包含该化合物的抗蚀剂组合物 [P].

韩俊熙 ;

赵承德 ;

吴贞薰 ;

李承宰 .

中国专利 :CN102161622B ,2011-08-24

[10]

抗蚀剂用聚合物以及包含该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

朱炫相 ;

金真湖 ;

韩俊熙 ;

柳印泳 .

中国专利 :CN104119477B ,2014-10-29

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-01-11	公开	公开
2012-03-07	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101194112463 IPC(主分类):C07C 309/68 专利申请号:2011101651114 申请日:20110610
2014-12-10	授权	授权
2020-08-28	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C07C 309/68 登记生效日:20200810 变更事项:专利权人变更前权利人:锦湖石油化学株式会社变更后权利人:爱思开新材料高性能有限公司变更事项:地址变更前权利人:韩国首尔变更后权利人:韩国世宗市