抗蚀剂用聚合物以及包含该聚合物的抗蚀剂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410165789.6

申请日：

2014-04-23

公开(公告)号：

CN104119477B

公开(公告)日：

2014-10-29

发明(设计)人：

朱炫相金真湖韩俊熙柳印泳

申请人：

申请人地址：

韩国首尔

IPC主分类号：

C08F23208

IPC分类号：

C08F22206 C08F814 C08F800 G03F7004 G03F700

代理机构：

北京鸿元知识产权代理有限公司 11327

代理人：

姜虎;陈英俊

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-10-29	公开	公开
2014-12-03	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101589571099 IPC(主分类):C08F 232/08 专利申请号:2014101657896 申请日:20140423
2020-08-21	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C08F 232/08 登记生效日:20200803 变更事项:专利权人变更前权利人:锦湖石油化学株式会社变更后权利人:爱思开新材料高性能有限公司变更事项:地址变更前权利人:韩国首尔变更后权利人:韩国世宗市
2016-07-13	授权	授权

共 50 条

[1]

抗蚀剂用聚合物以及含有该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

朱炫相 ;

金三珉 ;

裴昌完 ;

任铉淳 .

中国专利 :CN104007614A ,2014-08-27

[2]

聚合物及其含有该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

朱炫相 ;

裵昌完 ;

安浩益 ;

吴贤锡 .

中国专利 :CN104119476B ,2014-10-29

[3]

聚合物及包含该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

安藤信雄 ;

桥本和彦 .

中国专利 :CN101735390A ,2010-06-16

[4]

聚合物及包含该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

安藤信雄 ;

桥本和彦 .

中国专利 :CN101712733A ,2010-05-26

[5]

抗蚀剂用聚合物及抗蚀剂组合物 [P].

百濑阳 ;

大竹敦 ;

上田昭史 ;

藤原匡之 ;

竹下优 ;

林亮太郎 ;

岩井武 .

中国专利 :CN100406481C ,2006-03-08

[6]

化学放大抗蚀剂聚合物及使用该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

金德倍 ;

金炫辰 ;

崔容准 ;

郑允植 .

中国专利 :CN1162753C ,2002-11-06

[7]

新的丙烯酸类单体、聚合物以及包含该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

韩俊熙 ;

徐东辙 ;

安浩益 ;

金镇伯 ;

赵英旭 ;

申汉杰 .

中国专利 :CN103772341B ,2014-05-07

[8]

聚合物、其制备方法及包含该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

吴贞薰 ;

韩俊熙 ;

金兑坤 ;

朱炫相 .

中国专利 :CN102558523A ,2012-07-11

[9]

新的丙烯酸类单体、聚合物以及包含该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

韩俊熙 ;

金真湖 ;

任铉淳 ;

申大铉 .

中国专利 :CN103172518A ,2013-06-26

[10]

抗蚀剂用聚合物、抗蚀剂组合物及图案制造方法以及抗蚀剂用聚合物用原料化合物 [P].

百濑阳 ;

大竹敦 ;

中村雅 ;

上田昭史 .

中国专利 :CN101823989B ,2010-09-08

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