聚合物、其制备方法及包含该聚合物的抗蚀剂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110447867.8

申请日：

2011-12-23

公开(公告)号：

CN102558523A

公开(公告)日：

2012-07-11

发明(设计)人：

吴贞薰韩俊熙金兑坤朱炫相

申请人：

申请人地址：

韩国首尔

IPC主分类号：

C08G6366

IPC分类号：

G03F7004

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

过晓东;谭邦会

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-01	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C08G 63/66 登记生效日:20200812 变更事项:专利权人变更前权利人:锦湖石油化学株式会社变更后权利人:爱思开新材料高性能有限公司变更事项:地址变更前权利人:韩国首尔变更后权利人:韩国世宗市
2012-09-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101324742459 IPC(主分类):C08G 63/66 专利申请号:2011104478678 申请日:20111223
2015-04-22	授权	授权
2012-07-11	公开	公开

共 50 条

[1]

聚合物及包含该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

安藤信雄 ;

桥本和彦 .

中国专利 :CN101735390A ,2010-06-16

[2]

聚合物及包含该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

安藤信雄 ;

桥本和彦 .

中国专利 :CN101712733A ,2010-05-26

[3]

抗蚀剂用聚合物以及包含该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

朱炫相 ;

金真湖 ;

韩俊熙 ;

柳印泳 .

中国专利 :CN104119477B ,2014-10-29

[4]

聚合物和包含聚合物的光致抗蚀剂组合物 [P].

郑东垣 ;

G·G·巴克利 .

中国专利 :CN1645252A ,2005-07-27

[5]

新型丙烯酸类单体、聚合物和包含该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

裵昌完 ;

朱炫相 ;

安浩益 ;

申珍奉 .

中国专利 :CN103896773A ,2014-07-02

[6]

聚合物及其含有该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

朱炫相 ;

裵昌完 ;

安浩益 ;

吴贤锡 .

中国专利 :CN104119476B ,2014-10-29

[7]

化学放大抗蚀剂聚合物及使用该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

金德倍 ;

金炫辰 ;

崔容准 ;

郑允植 .

中国专利 :CN1162753C ,2002-11-06

[8]

抗蚀剂用聚合物以及含有该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

朱炫相 ;

金三珉 ;

裴昌完 ;

任铉淳 .

中国专利 :CN104007614A ,2014-08-27

[9]

聚合物组合物、包含该聚合物组合物的光致抗蚀剂以及包含该光致抗蚀剂的涂覆制品 [P].

M·D·克里斯蒂安森 ;

M·M·梅耶 ;

O·昂格伊 .

中国专利 :CN103524680A ,2014-01-22

[10]

新的丙烯酸类单体、聚合物以及包含该聚合物的抗蚀剂组合物 [P].

韩俊熙 ;

徐东辙 ;

安浩益 ;

金镇伯 ;

赵英旭 ;

申汉杰 .

中国专利 :CN103772341B ,2014-05-07

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