新型丙烯酸类单体、聚合物和包含该聚合物的抗蚀剂组合物

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201310739412.2
申请日
2013-12-26
公开(公告)号
CN103896773A
公开(公告)日
2014-07-02
发明(设计)人
裵昌完 朱炫相 安浩益 申珍奉
申请人
申请人地址
韩国首尔
IPC主分类号
C07C69653
IPC分类号
C07C6978 C08F22218 C08F22032 C08F22016 G03F7004
代理机构
北京鸿元知识产权代理有限公司 11327
代理人
李静;黄丽娟
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
新的丙烯酸类单体、聚合物以及包含该聚合物的抗蚀剂组合物 [P]. 
裵昌完 ;
金三珉 ;
尹队卿 ;
柳印泳 ;
黃晳浩 .
中国专利 :CN103992222A ,2014-08-20
[2]
新的丙烯酸类单体、聚合物以及包含该聚合物的抗蚀剂组合物 [P]. 
韩俊熙 ;
徐东辙 ;
安浩益 ;
金镇伯 ;
赵英旭 ;
申汉杰 .
中国专利 :CN103772341B ,2014-05-07
[3]
新的丙烯酸类单体、聚合物以及包含该聚合物的抗蚀剂组合物 [P]. 
韩俊熙 ;
金真湖 ;
任铉淳 ;
申大铉 .
中国专利 :CN103172518A ,2013-06-26
[4]
抗蚀剂用聚合物以及包含该聚合物的抗蚀剂组合物 [P]. 
朱炫相 ;
金真湖 ;
韩俊熙 ;
柳印泳 .
中国专利 :CN104119477B ,2014-10-29
[5]
聚合物及包含该聚合物的抗蚀剂组合物 [P]. 
安藤信雄 ;
桥本和彦 .
中国专利 :CN101735390A ,2010-06-16
[6]
聚合物及包含该聚合物的抗蚀剂组合物 [P]. 
安藤信雄 ;
桥本和彦 .
中国专利 :CN101712733A ,2010-05-26
[7]
丙烯酸类星形聚合物 [P]. 
松本仁志 ;
中村光宏 .
中国专利 :CN100572411C ,2007-05-02
[8]
聚合物、其制备方法及包含该聚合物的抗蚀剂组合物 [P]. 
吴贞薰 ;
韩俊熙 ;
金兑坤 ;
朱炫相 .
中国专利 :CN102558523A ,2012-07-11
[9]
涂料组合物、(甲基)丙烯酸类聚合物和用于制备所述(甲基)丙烯酸类聚合物的单体混合物 [P]. 
C·M·布雷纳 ;
G·施密特 ;
T·许茨 ;
J·克内贝尔 ;
I·兹维尔宙斯基 ;
M·施泰因 .
中国专利 :CN102369245A ,2012-03-07
[10]
包含聚氨酯和丙烯酸类聚合物的聚合物膜 [P]. 
S·G·舍瓦利耶 ;
J·-C·吴 ;
H·郭 .
中国专利 :CN101817975A ,2010-09-01