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一种防卡料的单晶硅外延片用理片机
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202120647128.2
申请日：
2021-03-30
公开(公告)号：
CN214477352U
公开(公告)日：
2021-10-22
发明(设计)人：
王武汉
申请人：
申请人地址：
625000 四川省雅安市经开区园区大道创业孵化园单层厂房11栋
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
成都乐易联创专利代理有限公司 51269
代理人：
高炜丽
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-10-22 | 授权 | 授权 |