一种单晶硅外延片生产用废气处理系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011610344.6

申请日：

2020-12-30

公开(公告)号：

CN112705016B

公开(公告)日：

2021-04-27

发明(设计)人：

吴勇彭日宇

申请人：

申请人地址：

625000 四川省雅安市经开区园区大道创业孵化园单层厂房11栋

IPC主分类号：

B01D5318

IPC分类号：

B01D5300 C01C110 F23G706

代理机构：

成都乐易联创专利代理有限公司 51269

代理人：

张锐

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-25	授权	授权
2021-05-14	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B01D 53/18 申请日:20201230
2021-04-27	公开	公开

共 50 条

[1]

一种单晶硅生产废气处理系统 [P].

李锋 ;

于萍萍 ;

丁剑峰 ;

冯成义 .

中国专利 :CN116870649B ,2024-01-23

[2]

一种用于单晶硅外延片的外延炉废气处理装置 [P].

李亦宁 .

中国专利 :CN214415891U ,2021-10-19

[3]

一种单晶硅外延片检测用集成系统 [P].

彭日宇 ;

李治宇 .

中国专利 :CN112880737A ,2021-06-01

[4]

一种基于单晶硅外延片生产输送推片机 [P].

李亦宁 ;

李治宇 .

中国专利 :CN213459685U ,2021-06-15

[5]

一种基于单晶硅外延片生产输送理片机 [P].

李治宇 ;

吴勇 .

中国专利 :CN213459683U ,2021-06-15

[6]

单晶硅晶片及外延片以及单晶硅的制造方法 [P].

樱田昌弘 ;

三田村伸晃 ;

布施川泉 ;

太田友彦 .

中国专利 :CN1653213A ,2005-08-10

[7]

一种基于单晶硅外延片生产用硅片清洗机 [P].

李治宇 ;

吴勇 .

中国专利 :CN213996949U ,2021-08-20

[8]

一种减压生产12寸单晶硅外延片的工艺 [P].

赵而敬 ;

冯泉林 ;

闫志瑞 ;

李宗峰 ;

盛方毓 .

中国专利 :CN103820849A ,2014-05-28

[9]

一种单晶硅外延片高精度磨边装置 [P].

吴勇 .

中国专利 :CN113182971B ,2021-07-30

[10]

一种防卡料的单晶硅外延片用理片机 [P].

王武汉 .

中国专利 :CN214477352U ,2021-10-22

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