基材真空处理设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201480031978.2

申请日：

2014-03-26

公开(公告)号：

CN105264111A

公开(公告)日：

2016-01-20

发明(设计)人：

H·哈格多恩 J·皮斯特纳 T·沃格特 A·米勒

申请人：

申请人地址：

德国阿尔策瑙

IPC主分类号：

C23C1456

IPC分类号：

H01J3734 C23C1434 H01J3732

代理机构：

北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280

代理人：

胡强

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-02-17	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101646921387 IPC(主分类):C23C 14/56 专利申请号:2014800319782 申请日:20140326
2017-12-12	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C 14/56 申请公布日:20160120
2016-01-20	公开	公开

共 50 条

[1]

真空处理设备和真空处理方法 [P].

J·拉姆 ;

B·威德里格 ;

S·卡塞曼 ;

M·D·皮门塔 ;

O·马斯勒 ;

B·汉塞尔曼 .

中国专利 :CN101743338A ,2010-06-16

[2]

真空处理设备和真空处理方法 [P].

佐长谷肇 ;

渡边直树 ;

徐舸 .

中国专利 :CN102191480A ,2011-09-21

[3]

真空处理设备 [P].

约亨·克劳瑟 .

中国专利 :CN204644463U ,2015-09-16

[4]

真空处理设备 [P].

芦成 .

中国专利 :CN309314458S ,2025-05-30

[5]

真空处理设备 [P].

B.肖特马斯特 ;

W.里伊茨勒 ;

R.洛德 ;

R.巴滋伦 ;

D.罗雷尔 .

中国专利 :CN103392226A ,2013-11-13

[6]

真空处理设备 [P].

沃尔特·邓克曼 ;

沃尔特·斯卡夫 ;

大卫·斯特劳勃 .

中国专利 :CN110434886A ,2019-11-12

[7]

真空处理设备 [P].

B.肖特马斯特 ;

W.里伊茨勒 ;

R.洛德 ;

R.巴滋伦 ;

D.罗雷尔 .

中国专利 :CN109300806B ,2019-02-01

[8]

真空处理设备 [P].

沃尔特·斯卡夫 ;

拉尔夫·斯托克伯格 .

中国专利 :CN102186759B ,2011-09-14

[9]

真空处理设备 [P].

沃尔特·邓克曼 ;

沃尔特·斯卡夫 ;

大卫·斯特劳勃 .

德国专利 :CN110434886B ,2024-07-23

[10]

真空处理设备、真空处理方法和电子装置制造方法 [P].

山本一 ;

今井洋之 .

中国专利 :CN102047406A ,2011-05-04

← 1 2 3 4 5 →