一种MOCVD设备及其托盘旋转支撑结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520263814.4

申请日：

2015-04-28

公开(公告)号：

CN204644467U

公开(公告)日：

2015-09-16

发明(设计)人：

施广涛吕青万红

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区华佗路168号3幢B区

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

代理机构：

上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249

代理人：

张静洁;包姝晴

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-09-16	授权	授权

共 50 条

[1]

转盘旋转支撑结构 [P].

张明 ;

林长坊 ;

陈志勇 ;

贾伟 ;

辛艺 .

中国专利 :CN223494341U ,2025-10-31

[2]

一种木质托盘旋转设备 [P].

李金昌 .

中国专利 :CN216807124U ,2022-06-24

[3]

MOCVD设备及该设备中的托盘支撑旋转系统 [P].

陈爱华 .

中国专利 :CN103540912A ,2014-01-29

[4]

显示设备及其旋转支撑结构 [P].

王智勇 ;

刘辅荣 .

中国专利 :CN207162002U ,2018-03-30

[5]

一种托盘旋转机 [P].

周宏图 .

中国专利 :CN211003216U ,2020-07-14

[6]

一种托盘旋转装置 [P].

向德志 ;

郑永 ;

王新建 ;

杨磊 ;

杨凯 ;

蒋丽娜 ;

张超 ;

李博 ;

龚晓奇 .

中国专利 :CN216334954U ,2022-04-19

[7]

一种托盘旋转台 [P].

翁贤德 ;

莫燕玲 ;

杨正春 .

中国专利 :CN221395619U ,2024-07-23

[8]

一种用于MOCVD设备的石墨托盘 [P].

谈逊 ;

谈谦 ;

刘宁波 ;

刘才 ;

吴曦 ;

王占玲 .

中国专利 :CN217077783U ,2022-07-29

[9]

一种辅助充填用托盘旋转装置 [P].

郑春才 ;

崔秀鹤 .

中国专利 :CN221367813U ,2024-07-19

[10]

一种托盘旋转台小车 [P].

闫洪超 .

中国专利 :CN215401015U ,2022-01-04

← 1 2 3 4 5 →