一种用于MOCVD设备的石墨托盘

被引：0

申请号：

CN202123223923.8

申请日：

2021-12-21

公开(公告)号：

CN217077783U

公开(公告)日：

2022-07-29

发明(设计)人：

谈逊谈谦刘宁波刘才吴曦王占玲

申请人：

申请人地址：

518117 广东省深圳市龙岗区坪地街道坪西社区龙岗大道(坪地段)1001号通产丽星科技产业园厂房七402

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

代理机构：

合肥市都耒知识产权代理事务所(普通合伙) 34227

代理人：

何鑫鑫

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-29	授权	授权

共 50 条

[1]

MOCVD设备的石墨托盘 [P].

纪攀峰 ;

孔庆峰 ;

王文军 ;

胡强 ;

马平 ;

曾一平 ;

王军喜 ;

李晋闽 .

中国专利 :CN104451605A ,2015-03-25

[2]

一种用于承载MOCVD石墨盘的托盘 [P].

李永 ;

牛勇 .

中国专利 :CN202865341U ,2013-04-10

[3]

一种新型用于外延工艺的MOCVD石墨托盘 [P].

范洋洋 ;

王春强 ;

邓桃 .

中国专利 :CN218478824U ,2023-02-14

[4]

一种用于MOCVD设备的石墨盘 [P].

王丽艳 ;

左玉波 .

中国专利 :CN209194059U ,2019-08-02

[5]

用于MOCVD设备的石墨盘 [P].

兰鹏国 .

中国专利 :CN213295567U ,2021-05-28

[6]

一种用于MOCVD设备的硅基托盘及制备方法 [P].

汪洋 ;

余盛杰 ;

刘佳宝 ;

柴攀 ;

万强 .

中国专利 :CN112410762B ,2021-02-26

[7]

用于MOCVD设备中的石墨盘 [P].

林桂荣 ;

邢志刚 ;

徐春阳 ;

巩前程 ;

栾振兴 ;

刘雷 ;

王国斌 .

中国专利 :CN207227547U ,2018-04-13

[8]

一种MOCVD设备用石墨盘 [P].

孙建建 ;

上官贤炜 ;

曹敏 ;

牛群磊 ;

纪东 ;

姜湃 ;

陈铭胜 .

中国专利 :CN218345543U ,2023-01-20

[9]

一种MOCVD设备用石墨盘 [P].

江汉 ;

寻飞林 ;

蓝永凌 ;

林兓兓 ;

蔡吉明 ;

张家宏 .

中国专利 :CN206562455U ,2017-10-17

[10]

一种MOCVD设备及其托盘旋转支撑结构 [P].

施广涛 ;

吕青 ;

万红 .

中国专利 :CN204644467U ,2015-09-16

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