MOCVD设备及该设备中的托盘支撑旋转系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210235247.2

申请日：

2012-07-09

公开(公告)号：

CN103540912A

公开(公告)日：

2014-01-29

发明(设计)人：

陈爱华

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区华佗路168号3幢B区

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

代理机构：

上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249

代理人：

徐雯琼

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-01-29	公开	公开
2016-06-08	授权	授权
2014-04-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101581321393 IPC(主分类):C23C 16/458 专利申请号:2012102352472 申请日:20120709
2016-03-02	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101728782157 IPC(主分类):C23C 16/458 专利申请号:2012102352472 变更事项:申请人变更前:中晟光电设备(上海)有限公司变更后:中晟光电设备(上海)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区华佗路168号3幢B区变更后:201203 上海市浦东新区张江高科技园区华佗路168号3幢B区

共 50 条

[1]

一种用于MOCVD设备的旋转系统及MOCVD设备 [P].

张森 ;

于大洋 ;

费磊 ;

王祥 ;

郭付成 .

中国专利 :CN114164413A ,2022-03-11

[2]

一种用于MOCVD设备的旋转系统及MOCVD设备 [P].

张森 ;

于大洋 ;

费磊 ;

王祥 ;

郭付成 .

中国专利 :CN221320084U ,2024-07-12

[3]

一种MOCVD设备及其托盘旋转支撑结构 [P].

施广涛 ;

吕青 ;

万红 .

中国专利 :CN204644467U ,2015-09-16

[4]

MOCVD尾气驱动旋转系统 [P].

杨连乔 ;

胡建正 ;

张建华 .

中国专利 :CN103173740B ,2013-06-26

[5]

MOCVD设备的石墨托盘 [P].

纪攀峰 ;

孔庆峰 ;

王文军 ;

胡强 ;

马平 ;

曾一平 ;

王军喜 ;

李晋闽 .

中国专利 :CN104451605A ,2015-03-25

[6]

自动旋转系统及自动旋转应用设备 [P].

郑丹青 .

中国专利 :CN216107712U ,2022-03-22

[7]

托盘、MOCVD反应腔和MOCVD设备 [P].

李红 .

中国专利 :CN103938186A ,2014-07-23

[8]

托盘组件及具有其的MOCVD设备 [P].

党志泉 .

中国专利 :CN103590020B ,2014-02-19

[9]

托盘晶圆定位系统、方法及MOCVD设备 [P].

黄玉峰 ;

马法君 ;

徐春阳 ;

赵辉 .

中国专利 :CN105603383A ,2016-05-25

[10]

MOCVD设备的反应装置及MOCVD设备 [P].

王志升 .

中国专利 :CN209081979U ,2019-07-09

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