托盘组件及具有其的MOCVD设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210286546.9

申请日：

2012-08-13

公开(公告)号：

CN103590020B

公开(公告)日：

2014-02-19

发明(设计)人：

党志泉

申请人：

申请人地址：

100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

宋合成;黄德海

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-12-02	授权	授权
2017-10-24	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 16/458 变更事项:专利权人变更前:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司变更后:北京北方华创微电子装备有限公司变更事项:地址变更前:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号变更后:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
2014-02-19	公开	公开
2014-03-19	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101580332025 IPC(主分类):C23C 16/458 专利申请号:2012102865469 申请日:20120813

共 50 条

[1]

加热载板组件及具有其的MOCVD设备 [P].

张进秋 .

中国专利 :CN209243173U ,2019-08-13

[2]

加热装置及具有其的MOCVD设备 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN114164415A ,2022-03-11

[3]

气体输运系统及具有其的MOCVD设备 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN212316242U ,2021-01-08

[4]

气体输运系统及具有其的MOCVD设备 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN114351115A ,2022-04-15

[5]

支撑组件及具有其的托盘箱 [P].

蔡立 .

中国专利 :CN201220781Y ,2009-04-15

[6]

MOCVD设备的石墨托盘 [P].

纪攀峰 ;

孔庆峰 ;

王文军 ;

胡强 ;

马平 ;

曾一平 ;

王军喜 ;

李晋闽 .

中国专利 :CN104451605A ,2015-03-25

[7]

托盘、MOCVD反应腔和MOCVD设备 [P].

李红 .

中国专利 :CN103938186A ,2014-07-23

[8]

测温连接组件及MOCVD设备 [P].

倪志松 ;

尹翔 ;

朱磊 .

中国专利 :CN209570280U ,2019-11-01

[9]

一种MOCVD设备的加热系统及MOCVD设备 [P].

宋涛 ;

朱金华 ;

李辉 ;

周国军 ;

张超 .

中国专利 :CN113846374A ,2021-12-28

[10]

炉门组件及具有其的烹饪设备 [P].

张建龙 ;

张真宝 ;

饶博文 .

中国专利 :CN111852281A ,2020-10-30

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