一种处理多晶硅生产中尾气的方法及系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610592188.2

申请日：

2016-07-26

公开(公告)号：

CN107648979A

公开(公告)日：

2018-02-02

发明(设计)人：

相文强张吉武侯雨张凯兴孙荣义黄鹏

申请人：

申请人地址：

830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国家级高新技术产业开发区（新市区）甘泉堡高新技术产业园

IPC主分类号：

B01D5302

IPC分类号：

B01D5314

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

罗建民;邓伯英

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-03-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B01D 53/02 申请日:20160726
2021-02-05	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B01D 53/02 申请公布日:20180202
2018-02-02	公开	公开

共 50 条

[1]

多晶硅生产中尾气处理方法及系统 [P].

李万存 ;

冯茹涛 ;

吴友成 ;

王正云 ;

李军 ;

刘兴平 .

中国专利 :CN113117442A ,2021-07-16

[2]

多晶硅生产的尾气回收处理方法 [P].

周祥顺 ;

王岭 ;

蒲晓东 ;

刘小锋 ;

王大海 .

中国专利 :CN102614741A ,2012-08-01

[3]

一种多晶硅生产中的还原系统尾气回收方法 [P].

周正平 ;

李金忠 .

中国专利 :CN106145120A ,2016-11-23

[4]

多晶硅生产方法 [P].

沈祖祥 ;

严大洲 ;

汤传斌 ;

肖荣晖 ;

毋克力 .

中国专利 :CN101372335B ,2009-02-25

[5]

多晶硅生产过程中的尾气处理方法及系统 [P].

张伟 ;

王惠 ;

宋高杰 ;

陈朝霞 ;

相文强 ;

赵阳 ;

董越杰 ;

王强 .

中国专利 :CN109678158A ,2019-04-26

[6]

一种多晶硅生产中的三氯氢硅生产方法 [P].

马国栋 ;

李强 ;

王兵 ;

杨光 ;

裴艳红 ;

刘团练 ;

李峥 ;

陈宁 ;

赵文文 ;

王志远 ;

邓兆敬 .

中国专利 :CN102530960A ,2012-07-04

[7]

一种多晶硅生产原料及多晶硅生产方法 [P].

王姗 .

中国专利 :CN107720755A ,2018-02-23

[8]

处理多晶硅还原尾气的方法 [P].

杨永亮 ;

张志刚 ;

司文学 ;

严大洲 ;

肖荣晖 ;

汤传斌 .

中国专利 :CN104140106B ,2014-11-12

[9]

多晶硅生产尾气处理装置 [P].

张新 ;

牟平 ;

陈文吉 ;

罗佳林 .

中国专利 :CN222468561U ,2025-02-14

[10]

一种多晶硅生产中的尾气中的氯硅烷的回收方法和装置 [P].

周迎春 ;

郭蔡明 ;

刘兴平 ;

刘建海 .

中国专利 :CN105439151A ,2016-03-30

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