一种多晶硅生产中的尾气中的氯硅烷的回收方法和装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410401453.5

申请日：

2014-08-13

公开(公告)号：

CN105439151A

公开(公告)日：

2016-03-30

发明(设计)人：

周迎春郭蔡明刘兴平刘建海

申请人：

申请人地址：

830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国家级高新技术产业开发区（新市区）甘泉堡高新技术产业园

IPC主分类号：

C01B33107

IPC分类号：

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

罗建民;邓伯英

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-04-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101657714701 IPC(主分类):C01B 33/107 专利申请号:2014104014535 申请日:20140813
2018-12-25	授权	授权
2016-03-30	公开	公开

共 50 条

[1]

还原生产多晶硅回收的氯硅烷的处理方法和装置、多晶硅生产中的氯硅烷的处理方法和系统 [P].

陈莉娜 ;

宋高杰 ;

张旭 ;

江庆云 ;

其他发明人请求不公开姓名 .

中国专利 :CN105366681B ,2016-03-02

[2]

多晶硅生产中氯硅烷的分离方法以及分离装置 [P].

刘铁勇 ;

唐红萍 .

中国专利 :CN113247908A ,2021-08-13

[3]

一种多晶硅生产中的还原系统尾气回收方法 [P].

周正平 ;

李金忠 .

中国专利 :CN106145120A ,2016-11-23

[4]

多晶硅还原尾气中氯硅烷的回收装置 [P].

陈文 ;

苗康 .

中国专利 :CN217163591U ,2022-08-12

[5]

一种处理多晶硅生产中尾气的方法及系统 [P].

相文强 ;

张吉武 ;

侯雨 ;

张凯兴 ;

孙荣义 ;

黄鹏 .

中国专利 :CN107648979A ,2018-02-02

[6]

多晶硅还原尾气中二氯二氢硅的回收方法和回收装置 [P].

叶冬梅 ;

张凯兴 ;

夏祥剑 ;

胡启红 ;

刘帅 ;

李禄元 ;

倪志伟 ;

米军 .

中国专利 :CN110240165B ,2019-09-17

[7]

一种多晶硅生产尾气中氯硅烷的回收系统 [P].

杨刊 ;

冯巩 ;

孟昱良 .

中国专利 :CN207792717U ,2018-08-31

[8]

一种多晶硅还原生产中的尾气中的二氯二氢硅的回收方法和装置 [P].

张吉武 ;

张伟 ;

陈朝霞 ;

王惠 .

中国专利 :CN105480981B ,2016-04-13

[9]

多晶硅生产中的氯硅烷液体的处理装置 [P].

杨晓凯 ;

叶杰 ;

王翔 ;

何向阳 .

中国专利 :CN202379747U ,2012-08-15

[10]

多晶硅生产中的氯硅烷、氢气混合的方法 [P].

戴自忠 ;

易忠海 .

中国专利 :CN101417802A ,2009-04-29

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