基于多波长显微干涉的三维形貌检测装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201621281736.1

申请日：

2016-11-28

公开(公告)号：

CN206601106U

公开(公告)日：

2017-10-31

发明(设计)人：

沈涛周燕

申请人：

申请人地址：

150080 黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路52号

IPC主分类号：

G01B1125

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-11-15	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01B 11/25 申请日:20161128 授权公告日:20171031 终止日期:20181128
2017-10-31	授权	授权

共 50 条

[1]

可调谐波长干涉三维形貌测量装置 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN217845103U ,2022-11-18

[2]

多光谱微观三维形貌检测装置 [P].

叶一青 ;

易定容 ;

孔令华 ;

蒋威 ;

朱星星 .

中国专利 :CN210741401U ,2020-06-12

[3]

基于双波长干涉的微表面形貌测量装置 [P].

沈涛 ;

周燕 .

中国专利 :CN205642308U ,2016-10-12

[4]

一种基于多波长的数字全息三维形貌检测装置 [P].

潘锋 ;

肖文 ;

陈宗晖 ;

闫贝贝 ;

杨洪建 ;

赵晨晓 ;

张旭红 .

中国专利 :CN104006763A ,2014-08-27

[5]

基于条纹成像投影的显微三维形貌测量装置 [P].

朱勇建 ;

罗坚 ;

黄振 ;

马俊飞 .

中国专利 :CN108895986B ,2018-11-27

[6]

三维形貌检测装置 [P].

王伟诚 ;

郭世炫 ;

陈金亮 .

中国专利 :CN101750027B ,2010-06-23

[7]

材料断口表面微观三维形貌干涉检测装置 [P].

邹文栋 ;

王代君 ;

徐章程 ;

肖慧荣 ;

陈春根 ;

朱丽华 .

中国专利 :CN104390604B ,2015-03-04

[8]

多光谱微观三维形貌检测装置及方法 [P].

易定容 ;

叶一青 ;

孔令华 ;

蒋威 ;

朱星星 .

中国专利 :CN110726380A ,2020-01-24

[9]

一种基于多波长和多偏振态的数字全息三维形貌检测装置 [P].

潘锋 ;

肖文 ;

马希超 ;

李玉旺 ;

吕晓云 ;

王庆伍 .

中国专利 :CN105066908A ,2015-11-18

[10]

一种三维形貌检测装置 [P].

张跃飞 ;

尹建华 ;

屠金磊 ;

马晋遥 ;

唐亮 ;

王晋 ;

石文彬 .

中国专利 :CN208887572U ,2019-05-21

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