一种基于多波长的数字全息三维形貌检测装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201410259126.0
申请日
2014-06-11
公开(公告)号
CN104006763A
公开(公告)日
2014-08-27
发明(设计)人
潘锋 肖文 陈宗晖 闫贝贝 杨洪建 赵晨晓 张旭红
申请人
申请人地址
100191 北京市海淀区学院路37号
IPC主分类号
G01B1124
IPC分类号
代理机构
北京永创新实专利事务所 11121
代理人
赵文颖
法律状态
发明专利申请公布后的视为撤回
国省代码
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共 50 条
[1]
一种基于多波长和多偏振态的数字全息三维形貌检测装置 [P]. 
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[9]
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[10]
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