一种大面积超分辨光刻装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711346477.5

申请日：

2017-12-15

公开(公告)号：

CN108089409A

公开(公告)日：

2018-05-29

发明(设计)人：

罗先刚赵承伟李猛王长涛赵泽宇

申请人：

申请人地址：

610209 四川省成都市双流350信箱

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-05-29	公开	公开
2019-10-08	授权	授权
2018-06-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20171215

共 50 条

[1]

大面积纳米光刻系统及其方法 [P].

浦东林 ;

陈林森 ;

朱鹏飞 ;

朱鸣 ;

邵仁锦 .

中国专利 :CN111427237B ,2020-07-17

[2]

一种大面积液晶面板投影光刻镜头 [P].

罗先刚 ;

申洪羽 ;

刘明刚 .

中国专利 :CN222825726U ,2025-05-02

[3]

一种大面积硅片PECVD沉积装置 [P].

张迎春 ;

赵永飞 .

中国专利 :CN117646197A ,2024-03-05

[4]

一种大面积液晶面板投影光刻镜头 [P].

罗先刚 ;

申洪羽 ;

刘明刚 .

中国专利 :CN118426141A ,2024-08-02

[5]

一种基于啁啾光栅间隙检测与控制的超分辨光刻装置 [P].

罗先刚 ;

王彦钦 ;

马晓亮 ;

赵泽宇 ;

高平 ;

李雄 .

中国专利 :CN106547173A ,2017-03-29

[6]

一种大面积施工用控制系统 [P].

刘凯 ;

宁晓冬 ;

倪学平 ;

吴改 ;

阳维华 ;

王宇 ;

叶水华 ;

邓深 ;

王叶 ;

刘郡 ;

王雨超 ;

黄第能 .

中国专利 :CN118674398A ,2024-09-20

[7]

一种大面积多区PECVD沉积装置 [P].

张迎春 ;

赵永飞 .

中国专利 :CN117646196A ,2024-03-05

[8]

一种大面积金属平板表面打磨装置 [P].

刘利 ;

谢刚 ;

张健 ;

赵惠 ;

王俊 ;

汪洋 ;

郝红卫 ;

庞国庆 .

中国专利 :CN202240809U ,2012-05-30

[9]

一种大面积自动向阳晾衣装置 [P].

侯军燕 ;

杨泽建 ;

郭程方 .

中国专利 :CN104695186B ,2015-06-10

[10]

一种大面积钢结构整体吊装检测装置 [P].

柳荣芳 ;

杨巧丽 ;

李强 .

中国专利 :CN205804990U ,2016-12-14

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