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化学机械研磨设备防碰撞侦测系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011280766.1
申请日：
2020-11-16
公开(公告)号：
CN112405327B
公开(公告)日：
2021-02-26
发明(设计)人：
李峰
刘宇龙
申请人：
申请人地址：
214194 江苏省无锡市锡山区锡北镇优谷产业园45、51号
IPC主分类号：
B24B37005
IPC分类号：
B24B3704
B24B3734
B24B4904
代理机构：
代理人：
法律状态：
著录事项变更
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-04-30 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):B24B 37/005 变更事项:发明人 变更前:李峰 刘玉龙 变更后:李峰 刘宇龙 |
| 2021-03-16 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/005 申请日:20201116 |
| 2021-02-26 | 公开 | 公开 |
| 2021-03-23 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):B24B 37/005 变更事项:申请人 变更前:吉姆西半导体科技（无锡）有限公司 变更后:吉姆西半导体科技（无锡）有限公司 变更事项:地址 变更前:214194 江苏省无锡市锡山区锡北镇泾虹路58号优谷企业园45号 变更后:214194 江苏省无锡市锡山区锡北镇优谷产业园45、51号 |
| 2022-07-15 | 授权 | 授权 |