基片位置异常的检测方法与检测装置

被引：0

申请号：

CN202211050416.5

申请日：

2022-08-29

公开(公告)号：

CN115393331A

公开(公告)日：

2022-11-25

发明(设计)人：

吴标平聂鹏吴洽彭中业

申请人：

申请人地址：

528478 广东省中山市横栏镇环镇北路27号

IPC主分类号：

G06T700

IPC分类号：

G06T713 G06T762 C23C2600 G01B1100

代理机构：

北京律智知识产权代理有限公司 11438

代理人：

王辉

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-25	公开	公开
2022-12-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G06T 7/00 申请日:20220829

共 50 条

[1]

转架位置异常的检测方法与检测装置 [P].

吴标平 ;

吴洽 ;

聂鹏 .

中国专利 :CN115326803A ,2022-11-11

[2]

机械手位置异常的检测方法与检测装置 [P].

吴标平 ;

吴洽 ;

聂鹏 .

中国专利 :CN115342730A ,2022-11-15

[3]

基片位置检测装置 [P].

姚立柱 ;

张津岩 ;

张风港 ;

杨娜 .

中国专利 :CN208023083U ,2018-10-30

[4]

药液的异常检测装置、液处理装置、基片处理装置、药液的异常检测方法、液处理方法和基片处理方法 [P].

林圣人 ;

森拓也 ;

志手英男 ;

坂本浩一 .

中国专利 :CN112041968A ,2020-12-04

[5]

药液的异常检测装置、液处理装置、基片处理装置、药液的异常检测方法、液处理方法和基片处理方法 [P].

林圣人 ;

森拓也 ;

志手英男 ;

坂本浩一 .

日本专利 :CN112041968B ,2024-01-26

[6]

车辆的异常检测方法、车辆的异常检测装置与车辆 [P].

罗智 .

中国专利 :CN121121890A ,2025-12-12

[7]

漏气位置检测方法与检测装置 [P].

聂军 ;

李钱 ;

隋城 .

中国专利 :CN120890623A ,2025-11-04

[8]

异常检测装置、异常检测方法 [P].

布施贵史 ;

肥塚哲男 .

中国专利 :CN107949865B ,2018-04-20

[9]

位置检测装置、位置检测装置的组装方法及位置检测方法 [P].

龙森 .

中国专利 :CN120558063A ,2025-08-29

[10]

马达转子位置检测装置与检测方法 [P].

何祖盛 ;

杨凯捷 ;

刘佳恩 .

中国专利 :CN113824380A ,2021-12-21

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