化学机械抛光液、系统和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210003774.0

申请日：

2012-01-04

公开(公告)号：

CN102732157B

公开(公告)日：

2012-10-17

发明(设计)人：

陈科维魏国修张世杰王英郎

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹

IPC主分类号：

H01L21321

IPC分类号：

代理机构：

北京德恒律师事务所 11306

代理人：

陆鑫;房岭梅

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-03-11	授权	授权
2012-10-17	公开	公开
2012-12-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101363519856 IPC(主分类):C09G 1/02 专利申请号:2012100037740 申请日:20120104

共 50 条

[1]

化学机械抛光液 [P].

赵铁均 ;

张延风 ;

杜新蕊 .

中国专利 :CN118813141A ,2024-10-22

[2]

化学机械抛光液和抛光方法 [P].

许雪峰 ;

彭伟 ;

姚春燕 ;

胡建德 .

中国专利 :CN101870851A ,2010-10-27

[3]

化学机械抛光液 [P].

赵铁均 ;

张延风 ;

杜新蕊 .

中国专利 :CN118813141B ,2025-04-01

[4]

化学机械抛光液 [P].

杨云忠 .

中国专利 :CN109929457A ,2019-06-25

[5]

化学机械抛光液 [P].

杨春晓 ;

俞昌 ;

肖正龙 ;

荆建芬 .

中国专利 :CN1900146A ,2007-01-24

[6]

化学机械抛光液 [P].

王良咏 ;

宋志棠 ;

刘卫丽 ;

刘波 ;

钟旻 ;

何敖东 .

中国专利 :CN102690604A ,2012-09-26

[7]

一种化学机械抛光液和化学机械抛光方法 [P].

张力飞 ;

王同庆 ;

王淑慧 ;

路新春 .

中国专利 :CN116606595B ,2025-05-16

[8]

化学机械抛光液及其抛光方法 [P].

周艳 ;

罗海梅 ;

陈高攀 ;

罗桂海 ;

潘立焱 ;

张楚红 .

中国专利 :CN117511412A ,2024-02-06

[9]

化学机械抛光液及其抛光方法 [P].

潘国顺 ;

陈高攀 ;

潘立焱 ;

罗海梅 ;

周艳 ;

罗桂海 ;

张楚红 .

中国专利 :CN115433522A ,2022-12-06

[10]

一种化学机械抛光液及化学机械抛光方法 [P].

张力飞 ;

王同庆 ;

路新春 .

中国专利 :CN111732899A ,2020-10-02

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