一种晶圆级纳米尺度计量标准器及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010568534.X

申请日：

2020-06-19

公开(公告)号：

CN111693003A

公开(公告)日：

2020-09-22

发明(设计)人：

饶张飞吴道伟张宁金红霞秦凯亮

申请人：

申请人地址：

710065 陕西省西安市雁塔区太白南路198号

IPC主分类号：

G01B2100

IPC分类号：

H01L2166

代理机构：

西安通大专利代理有限责任公司 61200

代理人：

李红霖

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-23	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01B 21/00 申请公布日:20200922
2020-09-22	公开	公开
2020-10-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 21/00 申请日:20200619

共 50 条

[1]

一种晶圆级计量标准器及其制备方法 [P].

饶张飞 ;

秦凯亮 ;

金红霞 .

中国专利 :CN112881960A ,2021-06-01

[2]

一种纳米尺度通道的制造方法 [P].

殷志富 ;

杨雪 ;

李露 ;

胡伟 ;

贾炳强 .

中国专利 :CN113070111A ,2021-07-06

[3]

一种纳米尺度图形的制作方法 [P].

赵珉 ;

陈宝钦 ;

刘明 ;

牛洁斌 .

中国专利 :CN101382733A ,2009-03-11

[4]

一种纳米尺度缝隙的制备方法 [P].

王紫东 ;

彭沛 ;

田仲政 ;

宋建宏 ;

任黎明 ;

傅云义 .

中国专利 :CN106904571B ,2017-06-30

[5]

一种纳米尺度镍金空气桥的制备方法 [P].

张杨 ;

刘剑 ;

李艳 ;

杨富华 .

中国专利 :CN101373734A ,2009-02-25

[6]

一种纳米尺度间隙电极对阵列及其制备方法 [P].

魏芹芹 ;

邓斯天 ;

赵华波 ;

傅云义 ;

黄如 ;

张兴 .

中国专利 :CN101817499B ,2010-09-01

[7]

一种晶圆级封装结构及其制造方法 [P].

饶杰 ;

周海峰 ;

文彪 ;

凌方舟 ;

蒋乐跃 .

中国专利 :CN105552054B ,2016-05-04

[8]

一种纳米尺度孪晶铜薄膜的制备方法 [P].

谢琦 ;

蒋玉龙 ;

屈新萍 ;

茹国平 ;

李炳宗 .

中国专利 :CN100503880C ,2007-08-15

[9]

一种纳米尺度热源反应器及其应用 [P].

张会 ;

吴晓春 .

中国专利 :CN108324944A ,2018-07-27

[10]

一种纳米尺度EUV掩模的制备方法 [P].

刘宇 ;

刘明 ;

谢常青 ;

龙世兵 ;

胡媛 ;

张凯平 ;

赵盛杰 .

中国专利 :CN103605260A ,2014-02-26

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