一种金属膜层沉积设备及其方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111147041.X

申请日：

2021-09-29

公开(公告)号：

CN113584569A

公开(公告)日：

2021-11-02

发明(设计)人：

王晓兵陈峰陈宇

申请人：

申请人地址：

226500 江苏省南通市如皋市城北街道起凤西路111号

IPC主分类号：

C25F500

IPC分类号：

C25F700

代理机构：

北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390

代理人：

管林林

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-02	公开	公开
2022-09-02	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C25F 5/00 申请公布日:20211102
2021-11-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C25F 5/00 申请日:20210929

共 50 条

[1]

一种金属膜层沉积方法和金属膜层沉积设备 [P].

何中凯 ;

荣延栋 ;

刘菲菲 ;

夏威 ;

丁培军 .

中国专利 :CN109207942A ,2019-01-15

[2]

一种金属膜层的沉积方法 [P].

陈峰 ;

王晓兵 .

中国专利 :CN115449870A ,2022-12-09

[3]

金属膜沉积 [P].

雷雨 ;

李相协 ;

克里斯·帕贝里可 ;

徐翼 ;

河泰泓 ;

唐先民 ;

朴金河 .

中国专利 :CN112105758A ,2020-12-18

[4]

金属膜层的沉积方法及半导体器件 [P].

孙建 ;

方龑 ;

顾浩 .

中国专利 :CN121046782A ,2025-12-02

[5]

金属膜层及堆叠膜层 [P].

邓伊玲 ;

萧钲谚 ;

王博生 ;

黄正欣 ;

颜丕承 .

中国专利 :CN206003846U ,2017-03-08

[6]

一种金属膜层钢化玻璃及其制备方法 [P].

王建明 ;

陈玉斌 ;

肖恩 ;

赵新 .

中国专利 :CN1824621A ,2006-08-30

[7]

金属膜的沉积 [P].

尹炳勋 ;

雷伟 ;

柳尚澔 .

中国专利 :CN115003854A ,2022-09-02

[8]

金属膜的沉积 [P].

约瑟亚·科林斯 ;

格里芬·约翰·肯尼迪 ;

汉娜·班诺克尔 ;

帕特里克·范克利蒙布特 ;

塞沙萨耶·瓦拉达拉简 .

中国专利 :CN113366144A ,2021-09-07

[9]

金属膜的沉积 [P].

尹炳勋 ;

雷伟 ;

柳尚澔 .

美国专利 :CN115003854B ,2024-07-23

[10]

金属膜的沉积 [P].

阿夫耶里诺斯·V·杰拉托斯 ;

仓富敬 ;

海克·林 ;

伊诚·陈 ;

张镁 .

中国专利 :CN110024079A ,2019-07-16

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