一种干膜显影工艺

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专利类型
发明
申请号
CN201210064938.0
申请日
2012-01-13
公开(公告)号
CN103207544A
公开(公告)日
2013-07-17
发明(设计)人
魏志凌 高小平 樊春雷
申请人
申请人地址
215300 江苏省苏州市昆山市巴城镇红杨路888号
IPC主分类号
G03F732
IPC分类号
G03F730
代理机构
代理人
法律状态
专利权的终止
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