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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2023-01-24 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/32 申请日:20120113 授权公告日:20150812 终止日期:20210113 |
| 2013-08-14 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101506927783 IPC(主分类):G03F 7/32 专利申请号:2012100649380 申请日:20120113 |
| 2019-09-17 | 专利权的保全及其解除 | 专利权的保全 IPC(主分类):G03F 7/32 申请日:20120113 授权公告日:20150812 登记生效日:20190808 |
| 2022-09-30 | 专利权的保全及其解除 | 专利权保全的解除 IPC(主分类):G03F 7/32 申请日:20120113 授权公告日:20150812 解除日:20220808 |
| 2013-07-17 | 公开 | 公开 |
| 2015-08-12 | 授权 | 授权 |