一种干膜快速显影方法

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专利类型
发明
申请号
CN201610514223.9
申请日
2016-07-04
公开(公告)号
CN106019861A
公开(公告)日
2016-10-12
发明(设计)人
付雷 黄勇 周睿 贺波
申请人
申请人地址
516002 广东省惠州市惠阳区新圩镇长布村
IPC主分类号
G03F730
IPC分类号
代理机构
深圳市千纳专利代理有限公司 44218
代理人
童海霓;刘彦
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种干膜显影工艺 [P]. 
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[10]
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