一种用于干膜微结构的显影方法及制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510635052.4

申请日：

2025-05-16

公开(公告)号：

CN120406059A

公开(公告)日：

2025-08-01

发明(设计)人：

刘涛吕欣妍

申请人：

上海新微技术研发中心有限公司

申请人地址：

201800 上海市嘉定区菊园新区胜竹路1399号2幢9层930室

IPC主分类号：

G03F7/30

IPC分类号：

G03F7/32

代理机构：

苏州创智高诺知识产权代理有限公司 32843

代理人：

白莉莉

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

上海市市辖区

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-19	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/30申请日:20250516
2025-08-01	公开	公开

共 50 条

[1]

一种修饰SiCOH薄膜微结构的方法 [P].

丁士进 ;

胡龙龙 ;

付爽 ;

张卫 ;

王鹏飞 .

中国专利 :CN102386128A ,2012-03-21

[2]

一种干膜快速显影方法 [P].

付雷 ;

黄勇 ;

周睿 ;

贺波 .

中国专利 :CN106019861A ,2016-10-12

[3]

一种用于印制电路板的干膜显影液及其制备方法 [P].

冯红波 ;

李灶保 .

中国专利 :CN107340693A ,2017-11-10

[4]

一种自对准结构MOSFET的制备方法 [P].

刘道国 .

中国专利 :CN115101418A ,2022-09-23

[5]

手性多瓣微结构的制备方法和装置 [P].

李家文 ;

刘顺利 ;

潘登 ;

李瑞 ;

范胜颖 ;

吴东 ;

胡衍雷 ;

褚家如 .

中国专利 :CN110501892A ,2019-11-26

[6]

一种具有盖孔与显影去膜能力的干膜、制备方法及应用 [P].

申有志 ;

李琴 ;

尹徐辉 .

中国专利 :CN121179846A ,2025-12-23

[7]

一种MEMS微结构的制备方法 [P].

姚日英 ;

王祝山 ;

张国华 ;

黄国华 .

中国专利 :CN103482563B ,2014-01-01

[8]

一种干膜显影工艺 [P].

魏志凌 ;

高小平 ;

樊春雷 .

中国专利 :CN103207544A ,2013-07-17

[9]

一种显影装置及显影机 [P].

蒯乐 ;

黄胜 ;

王忠诚 ;

徐卫 .

中国专利 :CN220983720U ,2024-05-17

[10]

纳米微结构的制备方法 [P].

陈墨 ;

张立辉 ;

李群庆 ;

范守善 .

中国专利 :CN109103101B ,2018-12-28

← 1 2 3 4 5 →