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改进的双掺杂浮栅晶体管
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201410405898.0
申请日
:
2014-08-18
公开(公告)号
:
CN105449002A
公开(公告)日
:
2016-03-30
发明(设计)人
:
吕冬琴
叶好华
申请人
:
申请人地址
:
201203 上海市浦东新区张江路18号
IPC主分类号
:
H01L29788
IPC分类号
:
H01L2949
H01L21336
H01L2128
代理机构
:
上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人
:
张欣
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
引用
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2016-04-27
实质审查的生效
实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101657716806 IPC(主分类):H01L 29/788 专利申请号:2014104058980 申请日:20140818
2018-10-12
授权
授权
2016-03-30
公开
公开
共 50 条
[1]
半浮栅晶体管的制作方法
[P].
龚风丛
论文数:
0
引用数:
0
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0
龚风丛
;
曹开玮
论文数:
0
引用数:
0
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0
曹开玮
.
中国专利
:CN113471294B
,2021-10-01
[2]
浮栅晶体管的制造方法
[P].
何其旸
论文数:
0
引用数:
0
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0
何其旸
.
中国专利
:CN103545203A
,2014-01-29
[3]
半浮栅晶体管结构
[P].
彭坤
论文数:
0
引用数:
0
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0
彭坤
.
中国专利
:CN105097953B
,2015-11-25
[4]
针对半浮栅晶体管浮栅工艺的方法
[P].
曹坚
论文数:
0
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0
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0
曹坚
;
何志斌
论文数:
0
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0
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0
何志斌
;
景旭斌
论文数:
0
引用数:
0
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0
景旭斌
.
中国专利
:CN106229265A
,2016-12-14
[5]
具有双金属控制栅的半浮栅晶体管的制造方法
[P].
杨志刚
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0
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0
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0
杨志刚
;
冷江华
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冷江华
;
刘珩
论文数:
0
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0
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刘珩
;
关天鹏
论文数:
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引用数:
0
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0
关天鹏
.
中国专利
:CN113643981A
,2021-11-12
[6]
具有双金属控制栅的半浮栅晶体管的制造方法
[P].
杨志刚
论文数:
0
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0
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0
机构:
上海华力集成电路制造有限公司
上海华力集成电路制造有限公司
杨志刚
;
冷江华
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0
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机构:
上海华力集成电路制造有限公司
上海华力集成电路制造有限公司
冷江华
;
刘珩
论文数:
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0
机构:
上海华力集成电路制造有限公司
上海华力集成电路制造有限公司
刘珩
;
关天鹏
论文数:
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0
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0
机构:
上海华力集成电路制造有限公司
上海华力集成电路制造有限公司
关天鹏
.
中国专利
:CN113643981B
,2024-06-11
[7]
浮栅的制作方法和浮栅晶体管的制作方法
[P].
邓咏桢
论文数:
0
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0
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0
邓咏桢
.
中国专利
:CN103839795A
,2014-06-04
[8]
浮栅MOS晶体管的制造方法
[P].
秦伟
论文数:
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0
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秦伟
;
高慧慧
论文数:
0
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0
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高慧慧
;
杨渝书
论文数:
0
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0
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杨渝书
;
黄海辉
论文数:
0
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0
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0
黄海辉
.
中国专利
:CN103441075A
,2013-12-11
[9]
浮栅晶体管的制作方法
[P].
何其旸
论文数:
0
引用数:
0
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0
何其旸
.
中国专利
:CN103545205B
,2014-01-29
[10]
一种三栅结构半浮栅晶体管的制作方法
[P].
杨志刚
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
上海华力集成电路制造有限公司
上海华力集成电路制造有限公司
杨志刚
;
刘珩
论文数:
0
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0
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0
机构:
上海华力集成电路制造有限公司
上海华力集成电路制造有限公司
刘珩
;
孟晓莹
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机构:
上海华力集成电路制造有限公司
上海华力集成电路制造有限公司
孟晓莹
;
冷江华
论文数:
0
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0
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机构:
上海华力集成电路制造有限公司
上海华力集成电路制造有限公司
冷江华
;
关天鹏
论文数:
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0
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0
机构:
上海华力集成电路制造有限公司
上海华力集成电路制造有限公司
关天鹏
.
中国专利
:CN113394103B
,2024-08-06
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