用于借助激光辐射剥除对激光辐射透明的脆硬材料的方法和装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201480030335.6
申请日
2014-03-24
公开(公告)号
CN105283265A
公开(公告)日
2016-01-27
发明(设计)人
W.舒尔茨 U.埃佩尔特
申请人
申请人地址
德国慕尼黑
IPC主分类号
B23K2636
IPC分类号
B23K2638 B23K2640 B23K2612 B23K2618
代理机构
中国专利代理(香港)有限公司 72001
代理人
卢江;刘春元
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
用于借助于激光辐射剥除脆硬材料的方法 [P]. 
W.舒尔茨 ;
U.埃佩尔特 .
中国专利 :CN105228789B ,2016-01-06
[2]
用于借助于激光辐射剥除脆硬材料的方法 [P]. 
W.舒尔茨 ;
U.埃佩尔特 .
中国专利 :CN105228790A ,2016-01-06
[3]
用于借助于激光辐射剥除脆硬材料的方法 [P]. 
W.舒尔茨 ;
U.埃佩尔特 .
中国专利 :CN105377500A ,2016-03-02
[4]
用于借助于冷激光辐射和热激光辐射去蚀脆硬材料的方法和系统 [P]. 
彭翔 ;
彭娟 .
中国专利 :CN106825938A ,2017-06-13
[5]
用于借助于激光辐射去蚀脆硬材料的方法和装置 [P]. 
彭翔 ;
彭娟 .
中国专利 :CN106853559A ,2017-06-16
[6]
激光辐射方法及激光辐射装置 [P]. 
田中幸一郎 ;
大石洋正 .
中国专利 :CN100483180C ,2005-11-16
[7]
用于产生激光辐射的装置 [P]. 
埃尔伯特·格茨 ;
温泽尔·汉斯 ;
克尼格·史蒂芬 ;
马丁·克里斯蒂安·多米尼克 ;
马斯多夫·安德烈 ;
德拉卡萨·彼得罗 ;
克尼格·安德里亚 ;
克鲁普·保罗 .
中国专利 :CN113632331A ,2021-11-09
[8]
用于施加激光辐射的装置 [P]. 
V·利索特申克 ;
A·米哈伊洛夫 ;
N·约雷明 ;
Y·科罗图史金 .
中国专利 :CN102844143B ,2012-12-26
[9]
用于激光辐射调制的方法和装置 [P]. 
弗拉基米尔·亚科夫列维奇·莫尔恰诺夫 ;
康斯坦丁·鲍里索维奇·尤什科夫 ;
娜塔莉亚·费奥多罗芙娜·瑙缅科 ;
亚历山大·伊里奇·奇日科夫 ;
瓦西里·维克托罗维奇·古罗夫 ;
阿纳托利·阿列克谢耶维奇·帕夫柳克 .
中国专利 :CN112236719A ,2021-01-15
[10]
激光辐射装置、激光辐射方法及制造半导体器件的方法 [P]. 
田中幸一郎 ;
森若智昭 ;
山本良明 .
中国专利 :CN1612287A ,2005-05-04