半导体清洗设备的排气装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011279924.1

申请日：

2020-11-16

公开(公告)号：

CN112604443A

公开(公告)日：

2021-04-06

发明(设计)人：

李幸夫马宏帅

申请人：

申请人地址：

100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

B01D5300

IPC分类号：

B01D500

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;王婷

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-06	公开	公开
2021-04-23	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B01D 53/00 申请日:20201116

共 50 条

[1]

半导体清洗设备及其排气装置 [P].

张楚源 ;

单思 ;

王广永 .

中国专利 :CN119694927A ,2025-03-25

[2]

排气装置及半导体设备 [P].

王帅 .

中国专利 :CN223609901U ,2025-11-28

[3]

用于半导体设备的排气装置 [P].

崔相玉 ;

魏明德 ;

金惠东 ;

金度亨 .

中国专利 :CN204332924U ,2015-05-13

[4]

排气装置及半导体设备 [P].

崔殿鹏 ;

徐强 ;

张涛 ;

关亚懦 .

中国专利 :CN211872081U ,2020-11-06

[5]

排气装置及半导体设备 [P].

夏振军 .

中国专利 :CN113430644A ,2021-09-24

[6]

半导体清洗设备的隔离装置和半导体清洗设备 [P].

左国军 ;

邱瑞 ;

成旭 ;

李雄朋 ;

陈雷 ;

谈丽文 ;

申斌 .

中国专利 :CN215988678U ,2022-03-08

[7]

半导体清洗设备的检测装置以及半导体清洗设备 [P].

崔凯 ;

乔夫龙 ;

赵刘明 ;

张适杰 .

中国专利 :CN223390499U ,2025-09-26

[8]

半导体加工设备的排气装置及半导体加工设备 [P].

武鹏科 ;

孙妍 ;

吴艳华 ;

魏明蕊 ;

董曼飞 ;

刘科学 .

中国专利 :CN111676464A ,2020-09-18

[9]

半导体前段设备模组的排气装置 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN208806234U ,2019-04-30

[10]

半导体前段设备模组的排气装置 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN111106048A ,2020-05-05

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