一种基于卷积神经网络的晶圆缺陷检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011461544.X

申请日：

2020-12-09

公开(公告)号：

CN112700406A

公开(公告)日：

2021-04-23

发明(设计)人：

连浩臻刘政宏刘洪荣闵刚梁海波

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市福田区滨河大道联合广场A座4003/4005室

IPC主分类号：

G06T700

IPC分类号：

代理机构：

深圳市嘉勤知识产权代理有限公司 44651

代理人：

王敏生

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-02-11	授权	授权
2021-05-11	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G06T 7/00 申请日:20201209
2022-09-27	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G06T 7/00 变更事项:专利权人变更前:深圳市芯汇群微电子技术有限公司变更后:深圳市大为创芯微电子科技有限公司变更事项:地址变更前:518000 广东省深圳市福田区滨河大道联合广场A座4003/4005室变更后:518000 广东省深圳市南山区粤海街道高新区社区科技南路18号深圳湾科技生态园12栋A1406
2021-04-23	公开	公开

共 50 条

[1]

一种基于ART神经网络的晶圆缺陷检测方法 [P].

连浩臻 ;

刘政宏 ;

刘洪荣 ;

闵刚 ;

梁海波 .

中国专利 :CN112529873B ,2021-03-19

[2]

基于卷积神经网络的布匹缺陷检测方法 [P].

艾国 ;

赫工博 ;

杨敏 .

中国专利 :CN111210417A ,2020-05-29

[3]

基于卷积神经网络的缺陷检测方法 [P].

张非凡 ;

王棠猛 ;

宋宪君 ;

徐志飞 .

中国专利 :CN119494822A ,2025-02-21

[4]

一种基于深度卷积神经网络的硅晶圆表面缺陷检测方法 [P].

唐昆 ;

彭琳和 ;

潘淼 ;

蔡文浩 ;

李佳旺 ;

唐伟东 ;

罗源嫱 ;

程波 ;

张航 .

中国专利 :CN115409824A ,2022-11-29

[5]

一种基于卷积神经网络的图像缺陷检测方法 [P].

杨利军 ;

邓新 .

中国专利 :CN113763364B ,2024-04-12

[6]

一种基于卷积神经网络的图像缺陷检测方法 [P].

杨利军 ;

邓新 .

中国专利 :CN113763364A ,2021-12-07

[7]

一种基于神经网络模型的晶圆缺陷检测方法及设备 [P].

白肖艳 ;

蔡雨桐 ;

易丛文 ;

夏敏 ;

管健 .

中国专利 :CN118037707A ,2024-05-14

[8]

基于卷积神经网络模型训练的带钢表面缺陷检测方法 [P].

舒雨锋 ;

刘志伟 ;

梅阳寒 ;

左大利 ;

郑炜彬 ;

谢兴警 ;

周廉发 ;

陈睿杰 ;

方彦皓 .

中国专利 :CN115151942A ,2022-10-04

[9]

基于卷积神经网络模型训练的带钢表面缺陷检测方法 [P].

舒雨锋 ;

刘志伟 ;

梅阳寒 ;

左大利 ;

郑炜彬 ;

谢兴警 ;

周廉发 ;

陈睿杰 ;

方彦皓 .

中国专利 :CN115151942B ,2024-02-13

[10]

基于神经网络的晶圆缺陷检测方法、装置及存储介质 [P].

杨善 .

中国专利 :CN119293628A ,2025-01-10

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