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一种用于晶圆的清洗装置

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202023287491.2
申请日：
2020-12-30
公开(公告)号：
CN214600623U
公开(公告)日：
2021-11-05
发明(设计)人：
钱诚 童建 霍召军
申请人：
申请人地址：
225300 江苏省泰州市姜堰区三水街道科技路199号
IPC主分类号：
B08B302
IPC分类号：
B08B310 B08B1300
代理机构：
北京商专润文专利代理事务所(普通合伙) 11317
代理人：
陈平
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-11-05 授权 授权
共 50 条
[1]
一种用于晶圆的清洗装置 [P]. 
钱诚 ;
李刚 ;
周兴江 .
中国专利 :CN112838030A ,2021-05-25
[2]
一种晶圆清洗装置 [P]. 
吴大亮 ;
孙新颖 ;
许振杰 .
中国专利 :CN218215207U ,2023-01-03
[3]
一种晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P]. 
贺贤汉 ;
杉原一男 ;
佐藤泰幸 ;
原英樹 .
中国专利 :CN215844496U ,2022-02-18
[4]
一种晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P]. 
姜镕 .
中国专利 :CN110190015A ,2019-08-30
[5]
一种晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P]. 
唐强 .
中国专利 :CN203620984U ,2014-06-04
[6]
一种晶圆清洗毛刷及晶圆清洗装置 [P]. 
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 .
中国专利 :CN221602607U ,2024-08-27
[7]
一种用于湿法晶圆的清洗装置 [P]. 
贺贤汉 ;
杉原一男 ;
佐藤泰幸 ;
原英樹 .
中国专利 :CN217788339U ,2022-11-11
[8]
一种晶圆清洗台及晶圆清洗装置 [P]. 
兰升友 ;
徐瑞林 .
中国专利 :CN215613584U ,2022-01-25
[9]
一种用于晶圆清洗的晶圆夹装置 [P]. 
杨洋 .
中国专利 :CN223513942U ,2025-11-04
[10]
一种晶圆的清洗方法 [P]. 
钱诚 ;
童建 ;
霍召军 .
中国专利 :CN112864051B ,2021-05-28
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