一种用于湿法晶圆的清洗装置

被引：0

申请号：

CN202220913153.5

申请日：

2022-04-20

公开(公告)号：

CN217788339U

公开(公告)日：

2022-11-11

发明(设计)人：

贺贤汉杉原一男佐藤泰幸原英樹

申请人：

申请人地址：

201900 上海市宝山区宝山城市工业园区山连路181号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

B08B302 B08B102 B08B1300

代理机构：

铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105

代理人：

李坤

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-11	授权	授权

共 50 条

[1]

一种湿法蚀刻晶圆清洗装置 [P].

王静强 ;

胡兴华 ;

徐福兴 .

中国专利 :CN222953035U ,2025-06-06

[2]

晶圆湿法清洗装置 [P].

云巴图 ;

陈章晏 ;

丁洋 ;

颜超仁 .

中国专利 :CN209981178U ,2020-01-21

[3]

一种晶圆湿法清洗装置 [P].

杨天生 ;

陈爱军 ;

袁平 ;

肖亚栋 .

中国专利 :CN223440580U ,2025-10-17

[4]

一种晶圆湿法清洗装置 [P].

陈实 ;

胡旺安 ;

张峰峰 ;

程浩 .

中国专利 :CN221466531U ,2024-08-02

[5]

一种用于晶圆的清洗装置 [P].

钱诚 ;

童建 ;

霍召军 .

中国专利 :CN214600623U ,2021-11-05

[6]

一种晶圆湿法腐蚀清洗装置 [P].

王小波 ;

杨天生 ;

俞斌 .

中国专利 :CN120878590A ,2025-10-31

[7]

一种用于湿法工艺的晶圆清洗槽 [P].

庄海云 ;

李志峰 ;

王雪松 ;

陈佳炜 .

中国专利 :CN210692498U ,2020-06-05

[8]

一种晶圆湿法腐蚀清洗装置 [P].

陈仲武 ;

刘玉倩 ;

姚立新 .

中国专利 :CN105185734B ,2015-12-23

[9]

一种用于湿法有机清洗工艺固定晶圆的装置 [P].

李喜荣 ;

宋克昌 ;

李波 ;

李青民 .

中国专利 :CN209232758U ,2019-08-09

[10]

一种晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

贺贤汉 ;

杉原一男 ;

佐藤泰幸 ;

原英樹 .

中国专利 :CN215844496U ,2022-02-18

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