一种晶圆湿法清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421995908.6

申请日：

2024-08-17

公开(公告)号：

CN223440580U

公开(公告)日：

2025-10-17

发明(设计)人：

杨天生陈爱军袁平肖亚栋

申请人：

苏州芯汇晶成半导体科技有限公司

申请人地址：

215600 江苏省苏州市张家港市张家港经济开发区福新路1202号

IPC主分类号：

B08B3/12

IPC分类号：

B08B3/14 B08B1/12 B08B1/32 H01L21/67

代理机构：

北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265

代理人：

宋勇

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-17	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆湿法清洗装置 [P].

云巴图 ;

陈章晏 ;

丁洋 ;

颜超仁 .

中国专利 :CN209981178U ,2020-01-21

[2]

一种晶圆湿法清洗装置 [P].

陈实 ;

胡旺安 ;

张峰峰 ;

程浩 .

中国专利 :CN221466531U ,2024-08-02

[3]

一种纳米晶圆产品氮气保护湿法清洗装置 [P].

张先明 ;

邓信甫 ;

刘大威 ;

陈丁堃 .

中国专利 :CN214638543U ,2021-11-09

[4]

一种晶圆加工用湿法清洗设备 [P].

郑东来 ;

缪小波 .

中国专利 :CN211587742U ,2020-09-29

[5]

一种湿法蚀刻晶圆清洗装置 [P].

王静强 ;

胡兴华 ;

徐福兴 .

中国专利 :CN222953035U ,2025-06-06

[6]

湿法晶圆清洗方法 [P].

陈华伦 ;

陈雄斌 ;

陈瑜 ;

熊涛 ;

罗啸 .

中国专利 :CN101869895A ,2010-10-27

[7]

一种晶圆清洗干燥装置 [P].

陈爱军 ;

王小波 ;

袁平 .

中国专利 :CN221861588U ,2024-10-18

[8]

一种用于湿法晶圆的清洗装置 [P].

贺贤汉 ;

杉原一男 ;

佐藤泰幸 ;

原英樹 .

中国专利 :CN217788339U ,2022-11-11

[9]

一种高洁净晶圆湿法清洗装置 [P].

邓信甫 ;

陈丁堃 ;

刘大威 ;

吴海华 .

中国专利 :CN112845300A ,2021-05-28

[10]

一种湿法清洗槽的活动晶圆夹具 [P].

戴文俊 .

中国专利 :CN204204827U ,2015-03-11

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