一种用于湿法有机清洗工艺固定晶圆的装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201822237468.9

申请日：

2018-12-28

公开(公告)号：

CN209232758U

公开(公告)日：

2019-08-09

发明(设计)人：

李喜荣宋克昌李波李青民

申请人：

申请人地址：

710077 陕西省西安市高新开发区丈八六路56号2号楼1层

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

H01L2167 H01L2102

代理机构：

西安智邦专利商标代理有限公司 61211

代理人：

胡乐

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-08-09	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于湿法有机清洗工艺固定晶圆的装置及清洗方法 [P].

李喜荣 ;

宋克昌 ;

李波 ;

李青民 .

中国专利 :CN109686693A ,2019-04-26

[2]

晶圆湿法清洗装置 [P].

云巴图 ;

陈章晏 ;

丁洋 ;

颜超仁 .

中国专利 :CN209981178U ,2020-01-21

[3]

一种用于湿法工艺的晶圆清洗槽 [P].

庄海云 ;

李志峰 ;

王雪松 ;

陈佳炜 .

中国专利 :CN210692498U ,2020-06-05

[4]

一种用于湿法晶圆的清洗装置 [P].

贺贤汉 ;

杉原一男 ;

佐藤泰幸 ;

原英樹 .

中国专利 :CN217788339U ,2022-11-11

[5]

一种晶圆湿法清洗装置 [P].

杨天生 ;

陈爱军 ;

袁平 ;

肖亚栋 .

中国专利 :CN223440580U ,2025-10-17

[6]

一种晶圆湿法清洗装置 [P].

陈实 ;

胡旺安 ;

张峰峰 ;

程浩 .

中国专利 :CN221466531U ,2024-08-02

[7]

一种用于晶圆清洗的晶圆夹装置 [P].

杨洋 .

中国专利 :CN223513942U ,2025-11-04

[8]

一种湿法工艺中的晶圆承载装置 [P].

余沛 ;

王汝冰 ;

刘佳 .

中国专利 :CN210778516U ,2020-06-16

[9]

晶圆的湿法清洗方法 [P].

王友长 .

中国专利 :CN112259443A ,2021-01-22

[10]

一种湿法蚀刻晶圆清洗装置 [P].

王静强 ;

胡兴华 ;

徐福兴 .

中国专利 :CN222953035U ,2025-06-06

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