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一种硅片干燥装置及制绒机
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022258377.0
申请日：
2020-10-12
公开(公告)号：
CN213396249U
公开(公告)日：
2021-06-08
发明(设计)人：
周华军
孙贤
申请人：
申请人地址：
215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号
IPC主分类号：
F26B910
IPC分类号：
F26B2100
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
胡彬
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-06-08 | 授权 | 授权 |