一种制绒硅片干燥辅助装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202023029374.6

申请日：

2020-12-16

公开(公告)号：

CN215027405U

公开(公告)日：

2021-12-07

发明(设计)人：

庄辉虎许海堂杨星

申请人：

申请人地址：

362000 福建省莆田市涵江区国欢东路655号

IPC主分类号：

B01D5300

IPC分类号：

B01D5304 B01D4600 F26B2100

代理机构：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-07	授权	授权

共 50 条

[1]

一种制绒辅助装置 [P].

张俊兵 ;

蒋秀林 ;

吴兰峰 .

中国专利 :CN209675322U ,2019-11-22

[2]

一种硅片干燥装置及制绒机 [P].

周华军 ;

孙贤 .

中国专利 :CN213396249U ,2021-06-08

[3]

硅片制绒方法与硅片制绒装置 [P].

叶晓亚 ;

曹芳 ;

邹帅 ;

王栩生 ;

邢国强 .

中国专利 :CN112909121B ,2021-06-04

[4]

硅片制绒装置和硅片制绒设备 [P].

丁力 ;

张玉 ;

李明阳 ;

丁志强 ;

周兴宝 .

中国专利 :CN223639624U ,2025-12-05

[5]

一种制绒辅助装置及晶体硅片处理方法 [P].

张俊兵 ;

蒋秀林 ;

吴兰峰 .

中国专利 :CN109994572A ,2019-07-09

[6]

一种制绒辅助装置及晶体硅片处理方法 [P].

张俊兵 ;

蒋秀林 ;

吴兰峰 .

中国专利 :CN109994572B ,2024-05-24

[7]

硅片制绒装置 [P].

叶晓亚 ;

曹芳 ;

邹帅 ;

王栩生 ;

邢国强 .

中国专利 :CN210897322U ,2020-06-30

[8]

一种硅片制绒装置 [P].

崔水炜 ;

万肇勇 ;

黄登强 ;

吴章平 .

中国专利 :CN208862003U ,2019-05-14

[9]

硅片制绒系统 [P].

武慧亮 ;

聂大小 .

中国专利 :CN209282227U ,2019-08-20

[10]

一种硅片制绒装置以及制绒工艺 [P].

孙林 .

中国专利 :CN115020548A ,2022-09-06

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