一种二次曝光的工艺方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010346287.9

申请日：

2020-04-27

公开(公告)号：

CN111538214A

公开(公告)日：

2020-08-14

发明(设计)人：

史建新

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市工业园区唯亭葑亭大道502号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

苏州言思嘉信专利代理事务所(普通合伙) 32385

代理人：

邵永永

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-14	公开	公开
2020-09-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20200427

共 50 条

[1]

掩膜版的校准标记二次曝光工艺方法 [P].

陈勇 .

中国专利 :CN117234042B ,2025-01-10

[2]

一种晶圆用二次曝光机 [P].

葛佳 .

中国专利 :CN221039776U ,2024-05-28

[3]

横隔板二次切割工艺方法 [P].

杨元录 ;

施卫建 ;

陈月清 ;

李胜乾 ;

夏月刚 .

中国专利 :CN102814632A ,2012-12-12

[4]

一种石墨底座回收二次加工工艺方法 [P].

苗峙 .

中国专利 :CN118026734A ,2024-05-14

[5]

一种网版二次曝光用快速定位装置 [P].

祖伟星 .

中国专利 :CN212905896U ,2021-04-06

[6]

二次蒸法生产粽子的工艺方法 [P].

吴学群 .

中国专利 :CN103099071A ,2013-05-15

[7]

一种改性PP料二次套塑的工艺方法 [P].

黄小明 .

中国专利 :CN103203854B ,2013-07-17

[8]

集成电路用掩模版二次曝光方法 [P].

刘维维 ;

尤春 ;

王兴平 ;

沙云峰 ;

朱希进 ;

季书凤 ;

张月圆 ;

杨晨 ;

刘浩 ;

胡超 .

中国专利 :CN108020990A ,2018-05-11

[9]

二次焙烧与石墨化系统及二次焙烧与石墨化工艺方法 [P].

张伟天 .

中国专利 :CN100374370C ,2006-09-13

[10]

PCB二次线路镀金工艺 [P].

许相会 .

中国专利 :CN111885844A ,2020-11-03

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