单面抛光设备

被引：0

申请号：

CN202221995244.4

申请日：

2022-07-29

公开(公告)号：

CN218194446U

公开(公告)日：

2023-01-03

发明(设计)人：

邵晓东

申请人：

申请人地址：

221000 江苏省徐州市金山桥开发区鑫芯路1号

IPC主分类号：

B24B2902

IPC分类号：

B24B5500 H01L2167 H01L21677

代理机构：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-03	授权	授权

共 50 条

[1]

一种单面抛光设备 [P].

唐永健 ;

房木生 .

中国专利 :CN217800960U ,2022-11-15

[2]

一种单面抛光设备 [P].

周磊 ;

段琳琳 ;

丁媛 ;

段伟 .

中国专利 :CN223029396U ,2025-06-27

[3]

抛光压头及单面抛光设备 [P].

高志明 ;

蒋继乐 .

中国专利 :CN119550235B ,2025-05-13

[4]

抛光压头及单面抛光设备 [P].

高志明 ;

蒋继乐 .

中国专利 :CN119550235A ,2025-03-04

[5]

单面抛光机 [P].

林恩芬 ;

何珍恩 .

中国专利 :CN211709007U ,2020-10-20

[6]

晶圆单面抛光装置 [P].

韦荣 .

中国专利 :CN206464991U ,2017-09-05

[7]

硅片单面抛光治具 [P].

吴佳俊 ;

吴家宏 ;

张凯胜 ;

姚伟忠 ;

孙铁囤 .

中国专利 :CN209461426U ,2019-10-01

[8]

单面抛光方法 [P].

铃木健汰 ;

大关正彬 .

日本专利 :CN113766994B ,2024-03-08

[9]

单面抛光方法 [P].

铃木健汰 ;

大关正彬 .

中国专利 :CN113766994A ,2021-12-07

[10]

一种单面抛光贴蜡补偿装置 [P].

周群飞 ;

饶桥兵 ;

郑明秋 .

中国专利 :CN206084762U ,2017-04-12

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