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单面抛光方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202080032295.4
申请日：
2020-03-10
公开(公告)号：
CN113766994B
公开(公告)日：
2024-03-08
发明(设计)人：
铃木健汰
大关正彬
申请人：
信越半导体株式会社
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
B24B37/015
IPC分类号：
B24B37/12
B24B49/14
H01L21/304
代理机构：
北京路浩知识产权代理有限公司 11002
代理人：
张晶;谢顺星
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-03-08 | 授权 | 授权 |