晶圆单面抛光装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201822216610.1

申请日：

2018-12-27

公开(公告)号：

CN209681857U

公开(公告)日：

2019-11-26

发明(设计)人：

陈琳

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市吴中区越溪吴中大道2288号7幢B3栋102

IPC主分类号：

B24B1922

IPC分类号：

代理机构：

苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251

代理人：

刘计成

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-11-26	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆单面抛光装置 [P].

韦荣 .

中国专利 :CN206464991U ,2017-09-05

[2]

晶圆单面抛光装置 [P].

夏宁 ;

林猛 .

中国专利 :CN120055974A ,2025-05-30

[3]

晶圆抛光装置 [P].

万先进 ;

胡孟杰 ;

李俊 ;

尤国振 ;

张怀东 ;

朱松 ;

边逸军 .

中国专利 :CN220372845U ,2024-01-23

[4]

晶圆抛光装置及晶圆抛光方法 [P].

杨玉凯 .

中国专利 :CN115431167A ,2022-12-06

[5]

抛光垫及晶圆抛光装置 [P].

柴万里 ;

王凯 ;

谢毓 .

中国专利 :CN120588104A ,2025-09-05

[6]

抛光垫及晶圆抛光装置 [P].

柴万里 ;

王凯 ;

谢毓 .

中国专利 :CN120588104B ,2025-10-10

[7]

一种晶圆单面抛光装置及方法 [P].

杨海军 ;

叶竹之 ;

林猛 ;

朱欣翼 .

中国专利 :CN115056045A ,2022-09-16

[8]

晶圆抛光扣环 [P].

彭朋益 .

中国专利 :CN2643479Y ,2004-09-22

[9]

硅晶圆的单面抛光方法 [P].

中岛敏治 ;

小佐佐和明 ;

杉森胜久 ;

小渊俊也 .

中国专利 :CN108885982B ,2018-11-23

[10]

晶圆抛光装置、晶圆抛光系统以及晶圆抛光方法 [P].

王同庆 ;

王春龙 ;

张美洁 .

中国专利 :CN117464552A ,2024-01-30

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