一种双重图形技术图案化磁性隧道结的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610332823.3

申请日：

2016-05-18

公开(公告)号：

CN107403865A

公开(公告)日：

2017-11-28

发明(设计)人：

张云森

申请人：

申请人地址：

201800 上海市嘉定区城北路235号二号楼二层

IPC主分类号：

H01L4312

IPC分类号：

代理机构：

上海容慧专利代理事务所(普通合伙) 31287

代理人：

于晓菁

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-11-28	公开	公开
2018-05-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 43/12 申请日:20160518
2020-07-14	授权	授权

共 50 条

[1]

一种磁性隧道结钽掩模的制备方法 [P].

张云森 .

中国专利 :CN107546323B ,2018-01-05

[2]

双重图形化的方法 [P].

王彦 ;

张城龙 ;

张海洋 .

中国专利 :CN107785252A ,2018-03-09

[3]

一种四层掩模图案化磁性隧道结的方法 [P].

张云森 ;

肖荣福 .

中国专利 :CN107331770A ,2017-11-07

[4]

双重图形化方法 [P].

袁伟 .

中国专利 :CN102129968A ,2011-07-20

[5]

一种磁性隧道结的对准和形成方法 [P].

张云森 ;

肖荣福 ;

郭一民 ;

陈峻 .

中国专利 :CN107658324A ,2018-02-02

[6]

采用双重图形化技术形成栅极的方法 [P].

刘畅 ;

韩秋华 .

中国专利 :CN105489480A ,2016-04-13

[7]

一种双重图形化方法 [P].

易春艳 .

中国专利 :CN102881567A ,2013-01-16

[8]

用于图案化磁性隧道结的硬掩模 [P].

薛林 ;

马亨德拉·帕卡拉 ;

陈浩 ;

安在洙 .

中国专利 :CN107660315A ,2018-02-02

[9]

一种通过两次图案化制做磁性隧道结阵列的方法 [P].

张云森 ;

麻榆阳 ;

肖荣福 .

中国专利 :CN108615808A ,2018-10-02

[10]

一种双重图形刻蚀方法 [P].

郑名廷 ;

邱靖尧 .

中国专利 :CN120565411A ,2025-08-29

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