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一种晶圆表面颗粒清洗双旋喷嘴
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910397648.X
申请日：
2019-05-14
公开(公告)号：
CN111940159A
公开(公告)日：
2020-11-17
发明(设计)人：
彭博
李檀
申请人：
申请人地址：
110168 辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号
IPC主分类号：
B05B704
IPC分类号：
代理机构：
沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002
代理人：
白振宇
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-11-17 | 公开 | 公开 |
| 2020-12-04 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B05B 7/04 申请日:20190514 |